GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法.pdf

ICs17.040.01 N 33 噶8 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 16594一1996 微米级长度的扫描电镜测量方法 MicrongradelenghtmeasurementbySEM 1996一11一04发布 1997一04一01实施 国 家 技 术 监 督 局 发布 Gs/T16594一 1996 前 言 本标准是一个测量方法标准，其量值可以溯源到长度基准。 本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径 本标准可与JJG550-88扫描电子显微镜检定规程并列使用。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船舶总公司725研究所。 本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华。 中华人民共和国国家标准 微米级长度的扫描电镜测量方法 Ga/T16594一1996 MicrongradelenghtmeasurementbySEM 1 范围 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量。.5^-10Km的长度，也适用于电子 探针分析仪测量微米级长度。 2 引用标准 下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时，所示版本均为 有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 JJG550-88 扫描电子显微镜 检定规程 基本原理 这是一种比较测量方法。其基本原理是:先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺(以下简称标 尺)的二次电子像，然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度(A)和样品图像中待测的两个特征 点之间的长度 B〔)。样品中待测的实际长度(L)按式((1)计算。 L 一 B 月 . 一 一 A (1) 式中:h— 标尺分度的标定值。 4 标准器和仪器设备 月 J I ﹃ ， 标尺 :应经过法定计量机构标定。 j 八 ﹃ … 了 ﹄ 扫描电镜:分辨力优于0.01km, 月 q q ︺ 比长仪:量程不小于60mm，误差不超过士5km 月 J 咔 ﹃ 光学显微镜:放大倍数不小于40倍。 亡 」 试验方法 5.1 样品的准备 5.1.1将待测样品置于样品柱上，用光学显微镜观测，将样品的工作面调整到与样品柱垂直，然后用导 电胶将样品固定。 5.1.2若样品不导电，应在样品表面喷镀厚度大约为10nm的金。 5.1-3 将样品柱置于样品座上，并调整到标准高度。 5.1.4 按5.1.1^-5.1.3方法，将标厂 于样品座上。 5.1.5用光学显微镜观测，先将样品置于视场中，调节光学显微镜，使样品工作面正焦。 吓1.6 平移样品座，使标尺置于视场中，调节标尺高度，使标尺工作面正焦。 国家技术监督局1996一11一04批准 1997一04一01实施 r cB/T 16594一1996 5.1.7 将样品座固定在扫描电镜的样品台上。 5-2 拍摄样品的二次电子像 5.2.1 将扫描电镜调整到最