溶胶–凝胶法制备LaP5O14粉体-硅酸盐学报.PDF

第38 卷第8 期 赵学国 等：低温合成正交相氧化铪纳米晶及棒状单斜相氧化铪纳米粉体 · 1553 · 第38 卷第8 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 38 ，No. 8 2 0 1 0 年 8 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY August ，2010 溶胶–凝胶法制备LaP5O14 粉体 陶 猛，肖汉宁，孙 涛，郭文明 (湖南大学材料科学与工程学院，长沙 410082) 摘 要：以La O ，HNO 和H PO 为原料，采用溶胶–凝胶法制备了 LaP O 粉体。用热重–差示扫描量热仪，X 射线衍射和扫描电子显微镜研究了 2 3 3 3 4 5 14 原料的组成以及热处理工艺等因素对煅烧后粉体的组成、微观形貌和性能的影响，探讨了LaP O 粉体的合成机理。结果表明：当La O 与H PO 摩 5 14 2 3 3 4 : 尔比为1 5 时制备的凝胶，在800 ℃煅烧5 h 后，制得主晶相为柱状结构的LaP O 粉体，该粉体的粒径约10 μm 。LaP O 粉体以LaPO 为前驱体在 5 14 5 14 4 煅烧过程中通过P O 的蒸发凝聚机理形成。该粉体能够在850 ℃分解并均匀释放出P O ，LaP O 的质量损失与时间近似于线性关系，可用于制备硅 2 5 2 5 5 14 晶片掺杂用磷扩散源片。 关键词：溶胶–凝胶；五聚磷酸镧；蒸发凝聚 中图分类号：TB321 ；TB34 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2010)08–1553–05 PREPARATION OF LaP O POWDER BY SOL–GEL METHOD 5 14 TAO Meng，XIAO Hanning ，SUN Tao ，GUO Wenming (College of Materials Science and Engineering, Hunan University, Changsha 410082, China) Abstract: LaP O powder was prepared by so