微电子工艺基础掺杂技术.ppt

下载文档

2
0
约1万字
约 78页
2019-04-12 发布于江西
举报
版权申诉
保障服务

微电子工艺基础掺杂技术.ppt

1、本文档共78页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

第9章掺杂技术第9章掺杂技术本章目标：第9章掺杂技术一、扩散二、离子注入技术三、集成电路的形成第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理 2、杂质在硅中的扩散 3、扩散设备与工艺 4、工艺质量检测第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（1）扩散方式第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（1）扩散方式第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（1）扩散方式第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（1）扩散方式第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（1）扩散方式第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（2）扩散方程第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（2）扩散方程第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（2）扩散方程第9章掺杂技术一、扩散 1、扩散原理（2）扩散方程第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 2、杂质在硅中的扩散第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 3、扩散工艺与设备第9章掺杂技术一、扩散 4、工艺质量检测第9章掺杂技术一、扩散 4、工艺质量检测第9章掺杂技术二、离子注入技术 1、概述 2、离子注入工艺 3、离子注入技术的应用第9章掺杂技术二、离子注入技术 1、概述第9章掺杂技术二、离子注入技术 1