GB/T 37213-2018硅晶锭尺寸的测定　激光法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT37213 2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法 — Testmethodforsiliconbrickdimension Lasertechnolo method gy 2018-12-28发布 2019-11-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT37213 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本标准起草单位 苏州协鑫光伏科技有限公司 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 山东大海新能 源发展有限公司。 : 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 宫龙飞 金善明 林清香 夏根平 唐珊珊 刘坤 Ⅰ / — GBT37213 2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法 1 范围 , 、 、 、 本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法 包括对角线 倒角 垂直度 边长和 长度。 本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( )