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附件3 ：半导体照明综合标准化技术体系标准明细表——制定中的标准
子体系01： 材料和设备
采用的或相应的
总序号 子序号 体系编号 标准代号和编号 标 准 名 称 标准状态 标准类型 备注
国际、国外标准号
0101 材料
010101 原材料
1 1 电子级三甲基镓 立项公示 产品标准 国标
010102 衬底材料
2 2 20110055-T-469 蓝宝石单晶衬底抛光片规范 制定中 产品标准 国标
3 3 20110056-T-469 蓝宝石单晶晶锭 制定中 产品标准 国标
4 4 2009-2768T-SJ 蓝宝石单晶抛光片规范 制定中 产品标准 行标
5 5 20110057-T-469 蓝宝石晶锭应力测试方法 制定中 方法标准 国标
6 6 20110739-T-469 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 制定中 方法标准 国标
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8 8 20110054-T-469 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 制定中 方法标准 国标
9 9 蓝宝石位错密度测量方法 立项公示 方法标准 国标
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11 11 2009-2773T-SJ 碳化硅单晶抛光片规范 制定中 产品标准 国标
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14 14 2009-2771T-SJ 碳化硅单晶晶向的测试方法 制定中 方法标准 行标
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