GB/T 14140.2-1993硅片直径测量方法　千分尺法.pdf

中华人民共和国国家标准 硅片直径测量方法 千分尺法 GB/T 14140.2一93 Siliconslicesandwafers-Measuring ofdiameter-M icrometermethod 1主题内容与适用范围 本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法 本标准适用于测量圆形硅片的直径 测量范围为ti25-0100mm, 本标准不适用于测量硅片的不圆度 本标准不作为仲裁测量方法。 2 引用标准 GB2828 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查) GB12962 硅单晶 3 R9[工具 3.1 千分尺.测量范围为25-125mm,精度为。.01mm 4 试验样品 4门 从一批硅片中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样 5 测且步骤 5门 测量在23士5℃下进行。千分尺测量杆端面应洁净 5.2 按硅片的导电类型确定要测量的三条直径的位置，见图1。硅片参考面位置应符合GB12962的规 定 5.2门 对于P(llll和N(100)硅片，要测量的三条直径是平行于主参考面的直径和与该直径成450f#1 的另二条直径 5.2.2对于P(100)硅片，第一条直径位于主、副参考面的中间.第二条直径垂直于第一条直径，第三条 直径与第二条直径成300角。 5.2.3对于N111)硅片，第一条直径平行于主参考面，第二条直径与第一条直径成300角，第三条直径 与第二条直径也成30。角 5.3 校正千分尺零点。 5.4 旋出测量杆，放入被测硅片，使待测直径处于测量位置。 5.5 旋进测量杆到终止位置。 5.6记录千分尺的读数，取下硅片。 5.7 重复5.4-5.6条测量步骤，直至测完三条直径 国家技术监督局1993一02一06批准 1993一10一01实施 Gs/T 14140.2-93 r ;too ﹃ N(1冈 图1 各类试样直径的测量位置 6 测量结果计算 6.1 硅片直径的平均值D按下式计算 刀 = 式中 n.-一硅片直径的测量值。 7 精密度 木方法多个实验室测量二倍标准偏差为士7pm 8 试验报告 8.，试验报告应包括以下内容: a‘硅片批号; GB/T 14140.2-93 n. 硅片批量及检测试样数量; 硅片直径测量值及直径平均值 a.本标准编号; e. 检测者及检测 口期 附加说明: 本标准由中国有色金属工业总公司提出。 本标准由洛阳单晶硅厂负责起草。 本标准主要起草人王从赞、夏光勤