离子风机的校准方法及不确定度分析.pdf

工业计量 测量不确定度 ·33 · DOI :10. 13228 /j. boyuan. issn1002 － 1183. 2015. 0155 离子风机的校准方法及不确定度分析 ， 束义牛 郝丽娜 ( ， 苏 苏州 215168) 苏州赛宝校准技术服务有限公司 江 : 、 ， ANSI /ESD STM3. 1—2000 、 摘要 目前国内外均尚无与离子风机有关的检定规程 校准规范及相关建议 依据 ESD SP3. 3—2000 、IEC61340—5—1 ， 等标准所规定的方法并根据离子风机的工作原理和技术指标 文章提出离子 ， ， ， 风机的一种校准方法 并分析其测量不确定度 本方法已在实验室多次验证 测量所得数据符合离子风机的技 术指标要求。 : ; ; 关键词 离子风机 校准方法 测量不确定度 文献标志码:B 文章编号:1002 － 1183 (2016)04 － 0033 － 04 离 ( 30 、60 、90 、 子风机是将电离的空气输送到较远的地方 距离离子风机出风口固定距离 如 ， 120 cm) ， ， 消除静电的一种静电消散器 是电子生产线上个 处 连续吹平板一分钟 记录平板上的 ［1］ ， ， 。 人型静电防护设备 具有出众的除静电性能 主 最高与最低电压 目前国内离子风机的校准需 、 。 ， ， ， 要由电晕放电器 高压电源和送风系统组成 电 求量较大 为此 本文根据实际使用需求 主要 ， 、 ， ， 晕放电器尖端放电 产生正 负离子气流 由送风 针对离子风机的静电消散能力 提出了一种简单 ， ， 。 系统送出 将物体表面带的电荷中和 达到消除 实用的校准方法 静电的目的。 ［2 － 3］ 1 计量标准和校准方法 ( 它的静电消散能力主要通过消散时间 也称 ) ( ) 1. 1 计量标准器及配套设备 衰减时间 和离子平衡度 也称残余电压 两个 ， 校准所需的标准仪器及配套设备可参考表 1 标准来评价 消散时间一般是指在距离离子风机