培训系列之(巴德纯)：真空设备自动化控制.docVIP

ppt文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 真空技术讲义 真空设备的自动化控制 巴德纯 CVD镀膜机自动化控制 CVD镀膜机自动化控制 实例 1 真空感应电炉自动化控制 2 CVD真空镀膜机自动化控制 真空镀膜机自动化控制 3 等离子体诊断 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空感应CVI/CVD系统 真空感应CVI/CVD系统 CVI/CVD 分布式自动化控制技术研究 王 庆 东北大学真空与流体工程研究中心 Tel Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.1 课题的提出 真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、 a. 真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、 超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。 超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。自动 控制系统是真空感应炉的一个重要组成部分， 控制系统是真空感应炉的一个重要组成部分，直接 影响产品的质量和产量。目前， 影响产品的质量和产量。目前，我国真空感应冶炼 过程控制技术落后、自动化水平低， 过程控制技术落后、自动化水平低，已成为制约真 空感应炉发展的一个瓶颈。 空感应炉发展的一个瓶颈。 随着市场对材料质量要求越来越高， b. 随着市场对材料质量要求越来越高，感应炉生产工 艺过程要求有更高的稳定性和可重复性， 艺过程要求有更高的稳定性和可重复性，集散控制 系统作为当今主流的控制技术在真空冶金控制领域 发挥着越来越重要的作用。 发挥着越来越重要的作用。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.1 课题的提出 c. 近年来DCS技术的成熟以及广泛应用， DCS在可 近年来DCS技术的成熟以及广泛应用 DCS技术的成熟以及广泛应用， DCS在可 靠性、开放性、 靠性、开放性、标准化方面都有了很大的进步和 发展，可实现高级复杂规律的控制。 发展，可实现高级复杂规律的控制。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.2 研究的意义 真空感应CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强 CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强， a. 真空感应CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强， 同时由于其作为在特种材料的制备设备需要温度 需要温度、 同时由于其作为在特种材料的制备设备需要温度、流量的精 确控制；另外需要控制的量又较多， 确控制；另外需要控制的量又较多，因此对其的控制是近年 来真空界的热点。 来真空界的热点。 真空感应熔炼过程具有多输入、多输出、非线性，成分、 b. 真空感应熔炼过程具有多输入、多输出、非线性，成分、温 度难以在线检测，并且坩埚内的反应复杂多变， 度难以在线检测，并且坩埚内的反应复杂多变，难以建立精 确的数学模型。由于自动化水平低， 确的数学模型。由于自动化水平低，基本上依靠人工经验进 行操作，产品质量不能保证稳定， 行操作，产品质量不能保证稳定，这不但增加了生产成本和 工人的劳动强度，也存在因错误操作导致熔炼失败的风险。 工人的劳动强度，也存在因错误操作导致熔炼失败的风险。 采用当今主流的集散控制系统和先进控制策略和算法, c. 采用当今主流的集散控制系统和先进控制策略和算法,对提 高真空感应系统熔炼的稳定性， 高真空感应系统熔炼的稳定性，提高真空感应熔炼自动化水 平和产品质量有非常重要的现实意义。 平和产品质量有非常重要的现实意义。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.3 论文研究的目的 研究真空感应CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术。 CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术 a. 研究真空感应CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术。 研究真空感应CVI/