罗茨真空泵机组的选配与使用注意事项.doc

PAGE PAGE 7 罗茨真空泵机组的选配与使用注意事项 前级泵的选配与连接 前级泵的选配 普通罗茨真空泵是不能单独使用的，必须配上合适的前级真空泵组成机组使用。前级真空泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压力，使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定范围内。由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速很重要。罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力的变化而变化的，在高排出压力下，最大压缩比为3：1，而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间（1 mbar＝0.75Torr）可达40:1，甚至更高些。 选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵机组的长期工作压力范围来考虑。另外应当考虑的是，对预抽时间长短的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵；假如真空室较大，而且要求很快达到预抽真空度，就要用较大的前级泵。还有必须要注意的是罗茨泵的实际运行时的压差不得超过其最大允许压差，一般建议控制在75％以下，否则罗茨泵会出现过热、过载或咬死等情况。 型 号 抽气速率 L/s 最大允许压差 Pa 配用功率 Kw 转 速 rpm 进气口直径 mm 排气口直径 mm 整机质量 Kg ZJ-70 70 ≥6*103 1.5 2900 80 50 95 ZJ-150 150 ≥6*103 3 2900 100 80 165 ZJ-300 300 ≥5*103 4 2900 160 100 275 ZJ-600 600 ≥4*103 5.5 2900 200 160 420 ZJ-1200 1200 ≥3*103 11 2900 250 200 980 ZJ-2500 2500 ≥3*103 18.5 2900 320 250 1500 由于罗茨真空泵的压缩比较小，为了使罗茨真空泵机组能达到更高的真空度和更大的抽气速率，可采用多台罗茨真空泵与前级真空泵串联来组成多级罗茨真空泵机组来满足高真空的要求。真空机组的级数是由工作真空度来决定的，一般真空机组的极限真空必须比工作真空高半到一个数量级。根据各个真空系统工作压力有所不同，在选配机组时必须掌握以下几点： 主泵必须在其最佳工作范围内工作； 主泵或中间泵与前级泵的压缩比不得其超过允许范围； 前级泵与第一级罗茨泵的配比尽可能小，当前级泵性能有所下降时，对系统的抽真空性能不会有大的影响。 各种真空泵或真空机组的工作压力范围 有关人员可以根据上述表图的范围选择那种类型的机组。 一般抽除干燥、无腐蚀性的气体的工艺上，建议选用滑阀真空泵或罗茨滑阀真空泵机组。 如果被抽气体含有微量粉尘或含有大量可凝性蒸汽的工艺上，建议选择水（液）环泵或罗茨水（液）环泵机组。至于要选择几级机组可参考上图和以下说明。 罗茨真空泵与水环真空泵的连接形式及工作范围可参看表一，在此表中我们列举了一台水环真空泵和一台至三台罗茨真空泵串联组成的多级罗茨水环真空机组所能达到的真空范围。 表一、多级罗茨水环真空泵机组的组成和真空度一览表 极限压力 0.2~0.8pa (1.5×10－3~6×10－3torr) 15~25pa (0.125~0.2torr) 266~650pa (2~5torr) 2500~3500pa (20~25torr) 允许启动压力 2000 pa (15torr) 5000 pa (37.5torr) 10000 pa (75torr) 101323 pa (760torr) 101325 pa 第四级 第三级 第二级 第一级 ZJ或ZJP ZJ或ZJP ZJ S S- 水环真空泵 ZJ-罗茨真空泵 ZJP-带溢流阀罗茨真空泵 一般一台罗茨真空泵与一台水环真空泵串联而成的JZJS型二级机组的极限压力仅为250~650pa左右，如采用二台罗茨真空泵串联一台水环真空泵则机组的极限压力可达到15~25pa，如再增加一台罗茨真空泵则机组的极限压力可更高，将达到0.2~0.8pa以上，因而用户可根据不同的使用要求来正确选择机组的级数。 罗茨水环真空机组，由于水环真空泵的抽速和真空度是与其所采用的循环水的温度密切相关的，水温越高水环泵的真空度就越差、抽速也越小。许多用户会发现罗茨水环机组中与水环泵相连的罗茨泵一般温度较高，特别是夏天的泵温会更高，其实就是因为水环泵循环水（液）的温度变化所造成的。 水环泵的样本参数是指泵采用15℃水作为工作液时的参考值，工作液的温度变化将会影响水环泵的抽气性能。表1提供的参数，可以结合以下公式来换算出进水温度不在15℃时水环泵抽除干燥空气的抽气能力。 以下是泵的抽速换算公式： (P1-PC) S＝S15× (P1-12.78) 式中:S—在P1压力时泵的实际抽速 S15—采用15℃ P1—入口压力,