SmartWLI-Extended扩展型白光干涉三维轮廓仪.PDF

SmartWLI-Extended扩展型白光干涉三维轮廓仪 --非接触光学表面三维形貌技术 New ! 更高像素摄像头  高精度 New ! 更快的测量速度 New !更佳的LED电源  结构紧凑 New !更好的干涉物镜  光滑表面  粗糙表面  测量速度快 白光干涉测量技术广泛应用于光 滑与粗糙表面的三维形貌表征。 垂直方向的测量精度可以达到纳 米级别。 SmartWLI-Extended扩展型白光 干涉三维轮廓仪拥有纳米级测试 精度，外接PC 或笔记本电脑进 行实时数据分析。 SmartWLI-Extended扩展型白光 干涉三维轮廓仪功能全面，轻松 应对各种测试环境。电动XY 双 轴样品台匹配自动拼接程序，应 对大面积测试任务。典型应用包 括科学研究、质量控制和工艺管 理。 SmartWLI-Extended扩展型白光 干涉三维轮廓仪测速快，精度 高，实时生成测量和分析数据， 是产品标定和工艺控制的最佳选 择。 测量头 测量原理 白光干涉 ，非接触光学式 Z轴定位系统 压电陶瓷马达控制 纵向测量范围 (um) Max 350um 摄像头参数 1936×1216像素 New ! 测量头物镜 具有 4 物镜接口的旋转台 ，可方便切换 光源 (nm) LED 542 ，高亮度 ，软件控制 New ! 纵向分辨率 （nm ） PSI模式 ：0.1 ，VSI模