MGC101MGC101P流量检测和校准.PDF

ENVIRONNEMENT 环境技术（北京）有限公司 MGC101/MGC101P 流量检测和校准  动态校准仪流量检查和校准时外接的标准流量计，必须有更高级别精 度并且经过更高一级别溯源或者校准。  动态校准仪显示流量为美国标准状况下流量，压力为一个标准大气压， 温度为25℃。  零气流量对应MFC 1，量成为10LPM。  标气流量对应MFC 2，量成为100SCCM。  跨度校准将使MFC 的工厂校准失效并且将使任何产生不准确的保修失效。 1. 配套设备 零气发生器，此处以Environnement S.A 的零气发生器ZAG7001 为例。 压力：25 PSIG 温度：350℃ 露点指示：蓝色。 2. 管路连接 MGC101 后面板“PORT 1”和“PORT 2 ”（PORT 2~6 都可以，此处以PORT 2 为例）与零气发生器连接，“OUTPUT ”是配气出口，外接标准流量计（MGC101P 的三个“OUTPUTS ”口，随意一个接标准流量计，其余两个堵死），其余口请 用密封帽拧上。 1 /8 ENVIRONNEMENT 环境技术（北京）有限公司 3. 流量检查 MGC101和MGC101P流量校准方法一样，此处以MGC101为例进行说明。 3.1. 在流量检查之前，应将ZAG 7001 和MGC101 上电半小时以上。ZAG 7001 应满足压力：25 PSIG 。 3.2. MGC101 和MGC101P 开启MGC101 时，假如仪表设置了“REMOTE MODE ”，需要按F3 EXIT 进入仪器主界面。 3.3. 在仪器主界面，点击F2 FLOW ，进入流量模式。 3.4. 如果需要检查零气对应的的流量计（MFC 1 ）的流量，首先确认PORT 1 与零气发生器相连。将光标移动至第一行，在右侧的数字键盘输入想要 的流量，请注意单位是ccm（即ml/min ），量程10000ccm，之后并按“ENTER ” 确认。例如想要检查5L/min 时的流量的准确性，请输入5000 ，此时零气输 入流量为5000ccm （即5L/min ）。 2 /8 ENVIRONNEMENT 环境技术（北京）有限公司 3.5. 点击F1 START 按钮，零气的流量会开始变化，最后稳定在5000ccm 左右 3.6. 待动态校准仪稳定约2 min 后，观察外接的标准流量计的读数，等其读数 稳定后，记录测量值。 3.7. 该点流量检查结束后点击F3 STOP 结束。如果还要继续产生其他的流量， 只需按步骤3.4 ，设置其他的流量即可。 3.8. 如果需要检查标气对应的的流量计（MFC 2 ）的流量，首先确认PORT 2~6 中的一个口与零气发生器相连，以PORT 2 为例。点击F2 GAS 按键，使 用 “▲▼”按键选择与零气发生器连接的口，例如PORT 2 ，并确认。 3.9. 先光标移动至第一行，在右侧的数字键盘输入0 ，并确认。之后将光标移 动至第二行，在右侧的数字键盘输入想要的流量，请注意单位是ccm ，量 程100ccm，之后并按“ENTER ”确认。 3.10. 点击F1 START 按钮，流量开始变化，最后稳定在设定的数值一定范围内 3.11. 待动态校准仪稳定约2 min 后，观察外接的标准流量计的读数，等其读数 稳定后，记录测量值。 3.12. 该点流量检查结束后点击F3 STOP 结束。如果还要继续产生其他的流量， 只需按步骤3.9 ，设置其他的流量即可。 4. 流量校准 MGC101P 流量校准之前要进行气密性检查。 A. 气密性测试 MGC101P 有一项自动气密性检测功能，能够确认仪器内部是否漏气。 1. 首先，确保仪器PORT1 口连接