微电子学概论教案.doc

PAGE PAGE 1 No： 微电子学概论 目 录 TOC \o 1-2 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc120505774 前 言 PAGEREF _Toc120505774 \h 1 HYPERLINK \l _Toc120505775 第一章 绪 论 PAGEREF _Toc120505775 \h 2 HYPERLINK \l _Toc120505776 1.1 什么是微电子学 PAGEREF _Toc120505776 \h 2 HYPERLINK \l _Toc120505777 1.2 微电子科学技术的战略地位 PAGEREF _Toc120505777 \h 2 HYPERLINK \l _Toc120505778 1.3 微电子科学技术的发展历史 PAGEREF _Toc120505778 \h 6 HYPERLINK \l _Toc120505779 1.4 集成电路的分类 PAGEREF _Toc120505779 \h 8 HYPERLINK \l _Toc120505780 1.5 微电子学的特点 PAGEREF _Toc120505780 \h 10 HYPERLINK \l _Toc120505781 第二章 半导体物理和器件物理基础 PAGEREF _Toc120505781 \h 12 HYPERLINK \l _Toc120505782 2.1半导体及其基本特性 PAGEREF _Toc120505782 \h 12 HYPERLINK \l _Toc120505783 2.3 PN结 PAGEREF _Toc120505783 \h 18 HYPERLINK \l _Toc120505784 2.4双极晶体管 PAGEREF _Toc120505784 \h 22 HYPERLINK \l _Toc120505785 2.5 MOS场效应晶体管 PAGEREF _Toc120505785 \h 28 HYPERLINK \l _Toc120505786 第三章 大规模集成电路基础 PAGEREF _Toc120505786 \h 35 HYPERLINK \l _Toc120505787 3.1 半导体集成电路概述 PAGEREF _Toc120505787 \h 35 HYPERLINK \l _Toc120505788 3.2 双极集成电路基础 PAGEREF _Toc120505788 \h 36 HYPERLINK \l _Toc120505789 3.3 MOS集成电路基础 PAGEREF _Toc120505789 \h 37 HYPERLINK \l _Toc120505790 第四章 集成电路制造工艺 PAGEREF _Toc120505790 \h 44 HYPERLINK \l _Toc120505791 4.1 双极集成电路工艺流程 PAGEREF _Toc120505791 \h 44 HYPERLINK \l _Toc120505792 4.2 MOS集成电路工艺流程 PAGEREF _Toc120505792 \h 44 HYPERLINK \l _Toc120505793 4.3 光刻与刻蚀技术 PAGEREF _Toc120505793 \h 44 HYPERLINK \l _Toc120505794 4.4氧化 PAGEREF _Toc120505794 \h 52 HYPERLINK \l _Toc120505795 4.5 扩散与离子注入 PAGEREF _Toc120505795 \h 55 HYPERLINK \l _Toc120505796 4.6 化学汽相淀积（Chemical Vapor Deposition-CVD） PAGEREF _Toc120505796 \h 56 HYPERLINK \l _Toc120505797 4.7 接触与连接 PAGEREF _Toc120505797 \h 60 HYPERLINK \l _Toc120505798 4.8隔离技术 PAGEREF _Toc120505798 \h 64 HYPERLINK \l _Toc120505799 4.9 封装技术 PAGEREF _Toc120505799 \h 68 HYPERLINK \l _Toc120505800 4.10 集成电路工艺小结 PAGEREF _Toc120505800 \h 69 HYPERLINK \l _Toc120505801 第五章 集成电路设计 PAGEREF _Toc12