检测与传感器 (2).ppt

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检测与传感器 2.1 概述 2.2 线位移检测传感器 2.3 角位移检测传感器 2.4 速度、加速度传感器 2.5 测力传感器 2.6 传感器的正确选择和使用 2.7 检测信号的采集与处理 2.1 概述 一、定义及分类: 1、定义:传感器是将力、温度、位移、速度等量转换成电信号的元件。“传感器技术是机电一体化的第一基础” 2、分类 按能量变换的功能分: 按输出的信号分: 二、传感器的基本特性 1. 传感器的静特性 传感器的静态特性是指当被测量处于稳定状态下,传感器的输入与输出值之间的关系。传感器静态特性的主要技术指标有:线性度、灵敏度、迟滞和重复性等。 (1).线性度 传感器的线性度是指传感器实际输出—输入特性曲线与理论直线之间的最大偏差与输出满度值之比,即 二、传感器的基本特性 2. 传感器的动态特性 传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。传感器动态特性的性能指标可以通过时域、频域以及试验分析的方法确定,其动态特性参数如:最大超调量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。 1. 新型传感器的开发 鉴于传感器的工作机理是基于各种效应和定律,由此启发人们进一步发现新现象、采用新原理、开发新材料、采用新工艺,并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器,这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。总之,传感器正经历着从以结构型为主转向以物性型为主的过程。 2. 传感器的集成化和多功能化 随着微电子学、微细加工技术和集成化工艺等方面的发展,出现了多种集成化传感器。这类传感器,或是同一功能的多个敏感元件排列成线性、面型的阵列型传感器;或是多种不同功能的敏感元件集成一体,成为可同时进行多种参数测量的传感器;或是传感器与放大、运算、温度补偿等电路集成一体具有多种功能——实现了横向和纵向的多功能。 3. 传感器的智能化 “电五官”与“电脑”的相结合,就是传感器的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转换功能,同时还具有记忆、存储、解析、统计处理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上,就成为智能传感器。 2.2 线位移检测传感器 一、光栅位移传感器 二、感应同步器 三、磁栅位移传感器 2、工作原理 莫尔条纹具有如下特点: 1.莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每移动过一个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 2.莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号,如图所示。 将此电压信号放大、整形变换为方波,经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 1.感应同步器结构 包括定尺和滑尺,用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距T(一般为2mm)的方齿形线圈。定尺绕组是连续的,滑尺上分布着两个励磁绕组,分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时,余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装,其间保持一定间隙(0.05~0.2mm)。 2.感应同步器的工作原理 在滑尺的绕组中,施加频率为f(一般为2~10kHz)的交变电流时,定尺绕组感应出频率为f的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。 设正弦绕组供电电压为Us,余弦绕组供电电压为Uc,移动距离为x,节距为T,则正弦绕组单独供电时,在定尺上感应电势为 余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 3. 测量方法 根据对滑尺绕组供电方式的不同,以及对输出电压检测方式的不同,感应同步器的测量方式有鉴相式和鉴幅式两种工作法。 (1)鉴相式工作法 滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相同幅值,但相位相差90o的两个电压,设 1.磁栅式位移传感器的结构 2.原理: 在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组,一个为励磁绕组,另一个为拾磁绕组,将高频励磁电流通入励磁绕组时,当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为: 3.测量方式 (1)鉴幅测量方式 如前所述,磁头有两组信号输出,将高频载波滤掉后则得到相位差为π/2的两组信号 两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正(余)弦信号,经信号处理后可进行位置检测。这种方法的检测线路比较简单,但分辨率受到录磁节距λ的限制,若要提高分辨率就必须采用较复杂的信频电路,所以不常采用。 2.鉴

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