原子光刻中的原子沉积数值模拟.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.55千字
约 4页
2019-05-15 发布于浙江
举报
版权申诉

原子光刻中的原子沉积数值模拟.pdf

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

VOL 第32卷第3期光学仪器 32，No．3 2010年6月 0PTICALINSTRUMENTS June，2010 文章编号：1005—5630(2010)03—0078—04 原子光刻中的原子沉积数值模拟* 梅卓君，王占山，马艳 (同济大学物理系精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要：近年来，有关原子光刻的实验研究得到了快速发展，并取得了一系列重大的实验进展。在原子光刻中，对不同原子在各种条件下的沉积过程的研究是具有非常重要的意义的。现利用有限差分法求解光与原子作用的薛定谔方程分析了激光功率、失谐量、腰斑大小以及原子纵向速度对汇聚效果的影响，总结了一些原子在驻波场中各项参数对沉积效果的影响。关键词：原子光刻；原子汇聚；有限差分法中图分类号：TN305．7文献标识码：A Numericalsimulationofatomic intheatom deposition lithography MEI Yah Zhanshan，MA Zhuojun，WANG (InstituteofPrecision of 200092，China) OpticalEngineering，DepartmentPhysics。TongjiUniversity，Shanghai Abstract：The researchesonatom a these experimental lithographygotrapiddevelopmentyears andhavemadeaseriesof researchofthe ofatomic significant processes progress．The differentatomsinvariousconditionshasan finite- depositionusing importantsignificance．The differences isusedtosolvea theatom-laser approximation Schrodingerequationdescribing field laser and interactions．Theeffectof radius of power，detuning，waistlongitudinalvelocity atomsto are effectssome totheatomsina laser focusinganalyzed．Theby parameter standing wavefie