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第34卷第3期 光学仪器 VoL34，No．3
2012年6月 OPTICALINSTRUMENTS June，2012
文章编号：1005—5630(2012)03—0013—04
PVDF压电式谐振传感器在密度
测量中的实验研究*．
高福群，华云松
(上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093)
摘要：密度测量在现代生产生活中占有很重要的地位，因此研究出能够快速精确测量密度的方
法会极大地改善生活和生产质量。现利用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的压电效应和逆压电效
应制成薄膜压电式谐振传感器，用于气体或液体的密度测量，从而得出传感器谐振频率与被测
气体和液体密度之间存在的关系。从实验和分析结果看，该谐振传感器可用于气体或液体的密
度测量，且测量结果具有较高的分辨力。
关键词：聚偏氟乙烯；谐振传感器；压电效应；逆压电效应
212．9文献标识码：A
中图分类号：TP
An ofPVDF resonatorsensor
experimentstudy piezoelectric
inthemeasurementofdensity
GAO
Fuqun，HUAYunsong
(SchoolofOptical—Electricaland of for
ComputerEngineering，UniversityShanghai
Scienceand
Technology，Shanghai200093，China)
measurementa roleinmodemlifeand faster
Abstract：Densityplaysveryimportant production．A
andmoreaccurateof will the ofour lifeand
waymeasuringdensitygreatlyirnpmvequality daily
tKSaim．athin-film resonator8ellsormadeof fluoride
production．With piezoelectric polyvinylidene
inverse effectis in
(PvDF)filmsandbasedonthe effectand
piezoelectric piezoelectricdesigned
the of or betweenthemeasuredfluidandtheresona．noe
density relationship
measuring gasliquid,111e
can
ofthesensorisderived．11l
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