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第32卷第4期 光学仪器 V01.32,No.4
2010年8,El OPTICALINSTRUMENTS August,2010
文章编号:1005—5630(2010)04—0052—06
*
PCB曝光机照明系统的均匀性仿真与研究
赵新才1,吴云峰1,谢煜1,叶玉堂1,陆佳佳2
(1.电子科技大学光电信息学院,四川成都610054;
2.成都英特罗克科技有限公司,四川成都610051)
摘要:近年来,电子信息类产品在不断地追求着高性能化,印刷电路板也随之高密度、微线化。
紫外线曝光机是印制板制造工艺中的重要设备,而光学曝光作为PCB制作工艺过程中的一个重
要环节对光照度的均匀性要求比较严格,现应用非成像光学的设计方法,实现了一种新型的曝
光机均匀照明系统,并使用基于蒙特卡罗法的光线追迹软件对该光学系统进行了模拟仿真。实
验表明,采用该研究设计的照明系统能够改善PCB曝光机紫外照明光源的配光性能,光强分布
均匀稳定、能够满足光学曝光过程对光源的指标要求,具有可操作性。
关键词:PCB曝光机;Lighttools软件;照明仿真;照明均匀性
中图分类号:0434.2文献标识码:A
basedon
simulationandresearch PCB
Uniformity
machine
exposure illuminatingsystem
2
Yul,YE
ZHAOXincail,’ⅢYunfen91,XIEYutan91,LUJiajia
of ofElectronic of
(1.SchoolOptoelectromc ScienceandTechnologyChina,
Information,University
InterlockScienceand
Chenlgdu610054,China;2.Chengdu TechnologyCo.,Ltd,Chengdu610051,China)
Abstract:Inrecent electronicinformationtendtobe
years,the products increasinglypowerful.
Withit.the circuitboardhasbecomemoreandmoreintensiveandmicro-wire
printed
an inthePCB UV
technology.Therefore,asimportantequipment manufacturingprocess,the
machinehavea forthe oftheilluminationinthe
exposure highrequires uniformity optical
whichisa inthePCB
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