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第38卷第2期 光学仪 器 voI．38，No．2
2016年4月 OPTICALINSTRUMENTS April，2016
文章编号：1005—5630(2016)02—0178—07
一种便携式光学表面轮廓仪
张瑜1，陈宇琪2，陈磊
(1．南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏南京210094；
2．金智视讯技术有限公司，江苏南京211100)
摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显
微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实
现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测
nm，重复性误差优
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1
于0．01nm，横向分辨率优于1肚m。
关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度
中图分类号：TH741．1文献标志码：Adoi：lO．3969／j．issn．1005—5630．2016．02．016
Aportablemicroscopicprofilometer
ZHANG Leil
Yul，CHEN2，CHEN
Yuqi
ofScienceand 210094fChinat
(1．SchoolofElectronicand Technology，Nanjing
OpticalEngineering，NanjingUniversity
Video 211100，China)
2．Jinzhi Technology
Co．，Ltd．，NaNing
isstudiedbasedonshort—coherent
Abstract：A phase-
portablemicroscopicprofilometer light
interferometric was and
shifting technique．Theportablemicroscopicprofilometerdesigned
whichwasbasedonshort—coherentinterference
implemented light microscopictechniques．The
ofthe isachieved ofmechanical
design
integrationprofilometerbyintegratingopticalpath．The
3D ustment is instrumentcontains andinverted
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