PECVD设备工作原理.ppt

* Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n CVD-1100设备工作原理 一、设备构成 二、工作原理 三、日常维护 目 录 CVD-1100型等离子化学气相沉淀设备主要有以下几个部分组成：1.真空系统（泵组部分），2.淀积部分，3.特气系统，4.射频系统。原理图如下所示： 一、设备构成 1、真空系统 如上图所示,真空系统主要由一系列泵和波纹管及阀门等组成，主要作用是：维持淀积腔室真空状态，保持腔室压力稳定，及时抽走反应生成的颗粒（硅粉等）。 2、淀积部分 此部分主要包括沉积炉和工件架，主要作用是淀积所需膜质 沉积温度：200-230℃ 沉积压力：0.5-1Torr(50-133Pa) 3、特气系统 主要有管道和电磁阀组成，主要作用是提供成膜所需要的特气及吹扫腔室的气体。 反应气体：Ar、CH4、B2H6、H2、SiH4、GeH4 、PH3 清洁气体：NF3 吹扫气体：N2 质量流量计量程： TMB （三甲基硼C3H9B ）、 PH3 、GeH4 : 4000scm Ar、CH4、 SiH4：15000scm H2:30000scm 4.射频系统 主要由RF射频电源柜组成，18分立电源控制18个电极，可对单个电极进行调节。 二、工作原理 1.真空系统工作原理 开始 开维持泵 开机械泵 开预抽阀 抽真空至500Pa 开罗茨泵，关旁路阀 抽真空至5Pa 抽真空至本底真空 开高阀 开前级阀 关罗茨泵 开旁路阀 关预抽阀 2.沉积工作原理 在沉积腔室一定的低真空状态下，通入反应气体，待气流稳定后，打开射频电源对反应气体进行电离，进而生成所需要的膜质。反应流程如下所示： 导入工件架 接通电极、特气管道、接地 试起辉（电源设定50W） 开预抽阀（500Pa） 开罗茨泵（5Pa） 开前级阀，高阀（抽本地真空） 通入反应气体（3分钟内流量稳定） 起辉（3分钟内起辉稳定） 沉积 吹扫（Ar最大流量，3次） 解除电极连接、特气连接、接地连接 缓慢拉出工件架 清洁腔室 冷却 三、日常维护 每日操作人员需对沉积炉、泵、循环水、特气、RF电源，加热等系统点检。 THE END THANKS! 服务理念中的“点点” ◆理解多一点 真情浓一点 ◆学习勤一点 品质高一点 ◆理由少一点 效率高一点 ◆处理问题灵活点 工作过程用心点 ◆对待同事宽容点 互相协作快乐点 * Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n Hanergy Confidential 浙江长兴汉能光伏有限公司 */n