洁净工程概念文档.doc

洁净工程 HYPERLINK /image/f7426d8d86eefa54b21bba45 \o 查看图片 \t _blank HYPERLINK /image/f7426d8d86eefa54b21bba45 \t _blank 空气洁净室 洁净工程，即洁净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 目录 HYPERLINK /view/4181445.html \l 1#1 一、定义 HYPERLINK /view/4181445.html \l 2#2 二、控管项目 HYPERLINK /view/4181445.html \l 3#3 三、分类 HYPERLINK /view/4181445.html \l 4#4 四、气流的流动 HYPERLINK /view/4181445.html \l 5#5 五、洁净室之构成 HYPERLINK /view/4181445.html \l 6#6 六、洁净室按用途分类（可分为两大类） HYPERLINK /view/4181445.html \l 7#7 七、洁净室污染源知识 HYPERLINK /view/4181445.html \l 8#8 八、洁净室标准规范 HYPERLINK /view/4181445.html \l 1 一、定义 HYPERLINK /view/4181445.html \l 2 二、控管项目 HYPERLINK /view/4181445.html \l 3 三、分类 HYPERLINK /view/4181445.html \l 4 四、气流的流动 HYPERLINK /view/4181445.html \l 5 五、洁净室之构成 HYPERLINK /view/4181445.html \l 6 六、洁净室按用途分类（可分为两大类） HYPERLINK /view/4181445.html \l 7 七、洁净室污染源知识 HYPERLINK /view/4181445.html \l 8 八、洁净室标准规范 HYPERLINK /view/4181445.html \l 9 九、行业应用 HYPERLINK /view/4181445.html \l 10 十、详细参数 展开 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段 一、定义 　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。 　　洁净室用途主要有以下三个： 　　空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。 　　静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。 　　动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段 二、控管项目 　　1、能除去空气中飘游之微尘粒子。 　　2、能防止微尘粒子之产生。 　　3、温度和湿度之控制。 　　4、压力之调节。 　　5、 有害气体之排除。 　　6、结构物与隔间之气密性。 　　7、静电之防制。 　　8、电磁干扰预防。 　　9、安全因素之考虑。 　　10、节能之考量。 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段 三、分类 乱流式(Turbulent Flow) 　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)