动力系统架构介绍20110825.ppt

* * * * * * * Gongchuang PV Confidential * 动力系统架构介绍 动力部-袁学申 2011.8.25 时间：14:00-15:30 前言 动力部-欧美、台资企业习惯称为Facility Department，随着半导体行业的在大陆的发展，受欧美、台资企业的影响，人们习惯将为FAB提供水、电、气、及其他动力供应的部门为厂务部，简称FAC 国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力部门或设施部门，为尊重公司的企业文化和大家习惯，在此称之为动力部，厂务和动力即为同一个部门。 课程目的： 了解动力部门的基本职能和作用 熟悉动力设备分布及主要系统构成 了解动力设备与生产的相关及重要性 动力部门的职能： 为生产制造部门提供安全的、连续稳定、高品质的动力、水、电、气供应；同时提供清洁、安全的生产环境。 保证动力设施安全稳定运行同时，持续开展节能工作、降低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标。 动力系统架构图 动力系统组成 电力供应系统 暖通、动力及排气系统 气化系统 给排水系统 NF3 DEZ房 特气房 柴油发电机房 LN2.LO2.LAr 氢气站 危险化学品仓库 硅烷站 配电室 锅炉房 空压机房 冷冻水站 纯水站 PCW系统 冷却水塔 厂务系统分布图 废水处理系统 消防生产水池 动力系统之电力系统 高低压配电NE 紧急柴油发电机组GE UPS电源 电力系统 电力系统：主要由市电配送系统、紧急柴油发电机、UPS不间断电源三部分构成。 共创电力基本架构图 变压器 10KV进线主开 高压配电开关 102厂房工艺设备用电 102厂房工艺设备用电 102厂房工艺设备用电 102厂房动力设备 应急负荷 办公楼宿舍用电 变压器 变压器 变压器 柴油发电机 变压器 共创电力基本架构图 工艺配电柜 工艺配电柜 空调通风设备 动力配电柜 动力站3台 冷水机组 消防及排烟风机 电梯 车间紧急照明 102 2F辅房及办公区域照明 102 1F周边辅房及办公照明 特气系统 水系统 事故排风及特气设备 特气系统 动力之空调.暖通.空压系统 一、空调送排风系统: 功能：为了维持车间温度，湿度，洁净度及正压要求，同时将车间设备产生的有毒有害气体排出室内。 组成：主要设备包括送排风系统(MAU 、AHU) ，排气（VEX,DUX,GEX,SEX）系统。 一、空调送排风系统 二、空调水系统 空调水系统包括冰水系统（7℃）、锅炉热水系统（80℃）、冷却塔水系统（32℃）、空调加湿补水（二级RO水）系统四部分组成，为空调提供冷源、热源并保证空气的湿度，同时将冷水机组从车间获得的热量转移到大气中。保证无尘车间及办公区域的温度、湿度要求。 空调水系统流程图 MAU或者AHU 工艺冷却水系统 三、空压系统（CDA） 原 理： 通过螺杆旋转作用，将吸入的外界空气不断压缩，获得一定压力的气体，使空气成为动力的载体，通过管道将动力传送至设备使用点，作为设备气动元件的动力来源。 CDA工艺流程图 厂务之气化系统 一、大宗气体系统 UPW(N2) ABT(O2)、TCO（N2） 特气系统 PECVD(Ar N2) 低温槽车 低温储罐 空浴式气化 器 气体使用点 调压、过滤装置 大宗气体系统包括:液态氮气、液态氧气、液态氩气三种气体 位置：102厂房北侧气罐区 危害：低温 窒息 二、特气系统 Y-气瓶 GC-气体控制柜 VMB-现场气体分流箱 车间机台GAS-BOX 特气系统包括：SIH4 NF3 B2H6(2%) PH3(0.5) CO2 TMB CH4 性质危害： SIH4 自燃易爆 NF3 腐蚀性，有毒 B2H6（2%） 易燃剧毒 PH3 （0.5%） 自燃、剧毒 TMB（2%） 自燃、有毒 v PECVD(CO2 SIH4、TMB PH3 NF3 CH4) TCO(B2H6) ABT 三、化学品系统-DEZ（二乙基锌） DEZ tank DEZ控制柜 现场