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北方微电子培训教材（高级） 等离子体基础 1 Outlines • 等离子体概况 • 等离子体源介绍 • 等离子体诊断 • 刻蚀工艺相关参数 NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 2 Outlines • 等离子体概况 • 等离子体源介绍 • 等离子体诊断 • 刻蚀工艺相关参数 NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 3 等离子体概况 等离子体基本概念 1 等离子体是一种具有足够电离度的放电气体 NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 4 等离子体概况 等离子体基本概念 2 等离子体基本组成： 电子、离子、中性粒子 等离子体基本特征： - 准电中性：等离子体宏观上表现为中性 - 集体行为：大量粒子综合的行为 N+ A e- 气体状物质 Plasma NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 5 等离子体概况 等离子体产生原理1 Energy • 能量的供应 Orbital electron Free electron Excited electron • 发生如下过程： nucleus nucleus - 电离过程 - 激发过程 - 离解过程 nucleus Free electron A + B A B Gas NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 6 等离子体概况 等离子体产生原理2 • 一般的方法就是通过电能，或者动能来提供能量，使原子 核外电子脱离原子核的束缚。 • • 电能：强电场、微波、激光、宇宙射线等； •