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EDX X射线能谱 一介绍 EDS （energy dispersive spectro-scopy ）能量色散谱 EDX （Energy Dispersive X-ray ） WDS （wavelength dispersive spectro-scopy ）波长色散谱 EDX ： X射线强度和能量曲线，定量分析样品的化学成份 主要用途： • 1) 非均匀样品的局部化学成份 • 2) 较少量材料或小颗粒材料的化学成份 • 3) 非均匀样品种一维或二维的成份分布 • 4) 沉积在任意衬底上的薄膜成份 特点 1) 铍以上元素 2) 最小能探测到的重量比： 0.1 wt% —— 1 wt% 3) 定量结果的相对误差：2 －20 ％（取决于校正方法等） 4) 在计算机控制下，1分钟以内可分析16种元素 5) 空间分辨率取决于平均原子序数、样品密度、束能量等（SEM中0.2—— 10微米） 获得可靠的分析结果要求样品: · 1) 样品平整光滑（尤其对定量分析，样品要抛光） 2) 可以分析表面粗糙的样品，但仅限于定性和半定量分析 3) 样品必须导热导电，必要的时候表面需要喷炭或金 推荐书目： Scanning Electron Microscopy and X-ray microanalysis New York 1992 （生物学、材料科学、地质学） Scanning Electron Microscopy，X-ray microanalysis and Anlytical Electron Microscopy New York 1990 二定量分析 （一）X射线的产生 Fig.2: Schematic diagram showing common X-ray emissions lines with their destinations for an element with atomic number (Z), where 29Z37. Intensity (I) （二）影响X射线强度的几种因素 Generated A ） 背底和特征峰 Detected Energy (E) Fig.5: Schematic diagram of the intensity variation of the continuum background with energy, showing the generated and detected background energy. Intensity (I) Z1 Characteristic lines Z2 White radiation (E) Fig.6: The spectrum of characteristic lines from two elements superimposed upon a background of white radiation. Pure element curve for K-lines showing calculated intensities (no background displayed) B ）原子序数对X射线强度的影响 C ）荧光产生率 Variation in fluorescence yield with atomic number.