单晶制绒工艺培训.ppt

工艺配比 预清洗：氢氧化钠/氢氧化钠+双氧水 制绒槽： 氧化钠：1%——2% IPA： 3%——7% 温度： 78-——85 酸洗:盐酸+氢氟酸 * 中和前道碱洗后残留在硅片表面的碱液， HF可去除硅片表面氧化层（SiO2），形成疏水表面，便于吹干，HCl中的Cl-有携带金属离子的能力，可以用于去除硅片表面金属离子，反应如下： SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O 酸洗槽作用 单晶制绒不良 * 雨点 水印 花篮印 白斑 IPA浓度不够 增加IPA浓度 1.硅酸钠含量太高 2.漂洗效果不理想 补纯水 换液 1.新花篮 2.花篮与硅片接触过于紧密 高浓度碱液浸润 绒面未完全覆盖硅片 1.提高碱浓度 2.延长时间 单晶不良 * 金字塔覆盖不完全 硅片表面微小两亮坑 单晶制绒不良 * 预清洗后硅片 硅片来料不良 单晶制绒不良—-手指印 硅片有手指印，在清洗前看不见，但是清洗后却清晰可见； 硅片切割后清洗工艺中的有机物沾污； 硅片表面的碳沾污； 硅片切割时润滑剂的粘污。如果润滑剂过粘，会出现无法有效进入刀口的现象，如润滑剂过稀则冷却效果不好。这些润滑剂在高温下有可能碳化粘附在硅片表面。 硅片经过热碱处理后提出在空气中，时间过长会与空气中的氧反应形成一层氧化层，这层氧化层一旦形成就很难再清洗下去了。因此，在碱清洗后不能在空气中暴露12秒以上。 * 油脂影响 减缓去损伤层的量 无法形成织构化的成核 表面织构化无法形成 * 油脂去除 有机溶剂+超声——有机溶剂溶解有机物质 酸性液体去除法——如RCA工艺：热硫酸煮硅片 表面活性剂 NaOCl热处理——利用O自由基的强腐蚀性 * 五、制绒工序岗位职责 工艺员： 完成工艺负责的点检项目的点检工作（工艺参数、溶液的使用寿命）。 仔细查看前几个班的交接班记录，了解前几个班出现的工艺问题及处理方法，再次出现时可减少处理时间。 负责制绒现场的问题处理（发白、雨点、水痕印、白斑），及时与扩散和PECVD技术员交流，监督生产员工的SPC测试工作。 对于出现的不良品，制定处理方案。 当班过程中，检查生产人员的无尘服穿戴、上下片操作手法以及工艺卫生状况是否符合要求，对于不符合要求的情况及时提出，并督促其整改，定期对员工进行集中培训。 协助助理工程师、工程师跟踪相关实验，统计数据，下班时，按时准确填写交接班记录。 完成安排的其他工作。 助理工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时联系并协助其余工序的工程师进行排查。 检查每天的制绒腐蚀量数据，对于异常点，要寻找到相应的设备、时间段等信息，积极排查异常。 巡检制绒间的运行状态（制绒间的温度、湿度补液、工艺卫生）以及设备情况，以达到制绒间正常运行的目的。 对于技术员汇报的异常情况，视情况到场解决或是电话给出解决措施，若不能解决的，及时通知工程师。 负责制绒工序点检表格（各台设备的运行情况与关键参数点检表）的编写。 协助工程师，安排制绒段的排查或改进实验，如有需要，与其他工序或是其他职能部门进行沟通，实验结束后，及时给出实验报告。 完成安排的其他工作。 工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时联系其余工序的工程师进行排查。 对于日常工作中，根据需要，与其他职能部门（如设备、生产等部门）进行沟通，共同寻找解决问题的方案。 对于助理工程师汇报的异常情况，视情况到场解决或是电话给出解决方案，若不能解决的，及时通知工艺主管。 负责制绒化学品选用以及使用情况（控制合理的单耗），选择工艺方案（最低的反射率，换液周期）及工艺控制参数（减薄量、腐蚀深度），设备的维护周期，上报工程师。 定期进行优化实验或是腐蚀量异常时安排排查实验，根据实验结果提出改进措施。 负责编写制绒工段的工艺文件、作业指导书，并组织相关人员进行学习。 完成安排的其他工作。 主管工程师： 关注当天的效率、碎片率、良品率等参数，对于出现的外观不良或是效率低下等异常，及时安排排查。 根据工作需要，负责与其他职能部门进行沟通，共同解决问题。 对于汇报的异常，视情况到场解决或是电话给出解决方案。 根据实验结果，安排实施新的工艺方案，若新方案中涉及到更改化学品厂家、型号或是改变工艺流程的，需向上级请示后决定是否实施。 定期总结制绒工序的工作情况，并向工艺部长汇报。 负责制绒工序人员的管理，分配领导安排的任务，定期组织会议，对本工段工作进行总结。 对工艺文件、作业指导书等进行审核。 完成领导安排的其他任务 六、注意事项 注意化学品防护，进设备内操作，一定要穿防护服。 调整参数前多加思考，在不确定的情况下务必找相关人员确认后