iG5 Nissin Implanter离子注入机简介.ppt

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Introduction of Company’s Business Activities Agu, 2013 Compare iG5 with iG4 Weight: 36ton iG4 2950mm Layout Next Generation Compare iG5 with iG4 Component iG4 Ion Source Analyzing Magnet Process Chamber Platen Profile Monitor PFG Transfer Chamber VAC Robot Load lock Chamber iG5 Next Generation Compare iG5 with iG4 Performance Next Generation Compare ~Layout~ iG4 iG5 Competitor Nissin Ion Gen 4 装置比較 iG6/iG5 ion Source iG6/iG5 Magnet

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