- 1、本文档共24页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
公司名称信息 P型单晶硅太阳电池工艺 joe * 目录 Test wafers Texturing Cleaning before diffusion Diffusion Edge isolation and remove PSG PECVD Screen printing and firing SE solar cells introduce joe * 来料检验 现在有的电池生产公司会有这道生产工序,因为优质硅片在市场上常常处于“有价无市”的状态,缺货严重,许多硅片制造商经常会用硅棒的“头尾料”来以次充好,卖给下游电池制造商,所以加上这道工序用来检验硅片的质量。 此道工序主要检验硅片的厚度、少子寿命、表面平整度、是否有微裂纹、电阻率、表面油污等,同时具有插片功能,可将硅片插入25片一盒的晶片盒中。我所知的设备供应商是韩国的fortix公司。这种设备插片速度不是很快,所以平时也只是用来做抽查检验,大部分硅片还是手工插入晶片盒流入下一工序。 joe * texturing 第二道工序是制绒。为了提高单晶硅太阳电池的光电转换效率,工业生产中通常采用碱与醇的混合溶液对(100)晶面的单晶硅片进行各向异性腐蚀,在表面形成类似“金字塔”状的绒面结构(陷光结构),有效的增强了硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流。 显微镜下的绒面结构图 joe * 国内一般采用深圳捷佳创in-line制绒机。我所见的该厂家的制绒机有单槽产200、300和400片三种,制绒槽的材料有PVC树脂和不锈钢两种。工艺条件视硅片表面质量而定,以200片一槽不锈钢材质的设备为例,硅片表面油污较少易于制出绒面,碱浓度可在0.8-1.2%之间,醇添加6-10升即可,硅酸钠500克。反应时间18-25分钟,反应温度80-82度。若表面较脏,工艺的变数就很大了,反应时间一般是延长至40分钟,同时加大碱浓度,甚至在制绒前采用高浓度碱液腐蚀的“粗抛”工艺。由于受原材料影响较大,所以制绒工艺很不稳定,需要很有经验的工艺人员在场控制。 制绒工艺所用的化学辅料现在普遍是NaOH,异丙醇和硅酸钠。有个别公司不用硅酸钠。 texturing joe * 扩散前清洗 制绒后会进行扩散制结,在扩散前要进行酸洗,洗去硅片表面附着的金属离子。主要采用盐酸溶液,清洗机一般采用捷佳创和北京七星华创的。清洗作业还要用到HF溶液,洗去硅片表面上的薄氧化层。硅片经过两种酸液的清洗顺序没有严格要求,一般是先经过HCl,再经过HF。 joe * diffusion joe * diffusion 扩散的主要目的是制作PN结,在掺硼的P型硅片上用三氯氧磷进行扩散。三氯氧磷(磷源)呈液态,放在扩散炉后面,一般源温为18-25度,通过载气N2传进扩散炉体。三氯氧磷与氧气在炉内反应生成磷扩散进硅片表面下0.3-0.5um,同时通保护N2,调节气流,保证扩散结的均匀性。 目前大多数厂商采用中电48所和北京七星华创的国产扩散炉,国产炉扩散的均匀性不好,气流量大,炉口密封性不好,常有绿色的偏磷酸生成。国外Centrotherm公司生产的扩散炉也有少数公司采用,效果很好,缺点是编辑新扩散工艺不方便,要求工艺人员会计算机编程语言才能编写工艺程序。 以下是我编写的一个扩散工艺recipe,采用了小气流量扩散工艺。 step Time Temperature N2 flow O2 flow source gas 1 loading 15 2 stability 860 10slm 3 oxidation 8min 860 15slm 2slm 4 first diffusion 15min 860 18 1 0.8slm 5 drive in 10 860 18 0.5 6 second diffusion 10 860
文档评论(0)