NDL破片线奈米材料验证服务平台.PDFVIP

NDL 晶粒製程線奈米材料驗證服務平台 ,, ,, ,, 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產非由書面許可非由書面許可不准透露或使用本文件不准透露或使用本文件亦不准複製或轉變成任何其他形式使用亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTETHE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTE D TD THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES.HE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. 目的 1. 本文件主要是用以協助在NDL使用晶粒製程線奈米 材料驗證服務平台的使用者。 2. 請使用者遵守文件中的指示進行製造。 聯絡人: chunchi.chen@narlabs.org.tw (陳俊淇博士) , , , 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產非由書面許可不准透露或使用本文件亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTE D THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. 服務內容 1. 提供標準範例材料與元件製程(後續說明) 2. 基於標準範例元件製程，提供使用者改變Substrate 、Channel 、 HK/MG 、ILD與Metal等材料進行驗證服務，需提供測試片供NDL 製程測試。(未來NDL將提供channel材料硫化硒化製程服務) 3. 基於標準範例元件製程外，未來將提供UBM連線間重新布局 RDL(Redistribution Layer)服務 。 4. 若使用者有多重對準需求，NDL提供零層光罩布局，使用者將零 層對準記號放置於製程晶片中，並有一定蝕刻深度，可提供後 續曝光與製程服務。(例如12/8/6吋晶片於某些製程後須破片進 行後續製程) 聯絡人: chunchi.chen@narlabs.org.tw (陳俊淇博士)