MEMS技术与应用综述.pptxVIP

MEMS技术及应用综述; 读书笔记的要点;MEMS的概述;MEMS的主要研究内容;MEMS封装材料;MEMS的封装方法;MEMS封装中经常遇到的封装关键问题;MEMS的关键技术;设计技术：MEMS产品设计包括系统、器件、电路、封装等设计。 材料的选择技术：MEMS应用材料主要有三种：单晶硅和多晶硅，压电材料和其他类型的合成材料。 多传感信息融合技术：多传感器集成是指最佳的综合使用多传感器信息，使智能系统具有完成某一特定任务所需的完备信息，然后把这些信息进行合成，形成对环境某一特征的一种表达方式，能完善地，精确地反映环境特征。 微能源技术：典型的供能方法为用电池供能和无接触能源供给。 微驱动技术：静电型驱动器、压电型驱动器、超声波驱动、形状记忆合金、热膨胀型驱动器、超导驱动器;MEMS加工技术;LIGA与准LIGA技术;LIGA技术的典型工艺流程图;MEMS的主要失效机理问题关联示意图;MEMS可靠性问题关联示意图;典型的MEMS器件;梳妆驱动执行器;MEMS的应用领域;信息机械领域;生物化学领域 ;MEMS在生医设备上具有两大功能，首先是提高医疗设备的效能，其次为提供系统制造商具竞争力的优势，例如将加速度计(Accelerometer)放置于心律调节器(Pacemaker)的做法，即革新了心脏疾病的治疗方法。 目前MEMS元件在四大医疗照护市场极具成长潜力，分别为医药、生理诊断、医疗设备及居家照护；医药市场仰赖MEMS的灵敏度；生理诊断应用看重MEMS的可携性及成本效益；医疗设备能借力MEMS实现多样化功能；而居家照护系统则可利用MEMS提升安全度及连接功能。;2012～2018年全球生医MEMS市值;航空航天领域 ;MEMS的发展趋势;中国大陆产业扶植三部曲;现阶段中国大陆MEMS 的产品结构中，压力感测器和加速度计占据较大比例，陀螺仪的增长也相当迅速。值得深思的是，中国大陆MEMS 市场虽然快速发展，但在核心晶片上的取得仍极大部分倚靠欧洲和美国等国家。;中国大陆本土MEMS设计产业快速萌芽;总结;END