多晶硅洁净室施工工法.docVIP

PAGE PAGE 6 - 多晶硅生产车间洁净室施工工法 　 1．前言 随着电子、化工行业的飞迅发展，对产品纯度的要求日益提高，而生产、加工环境的洁净度直接影响着产品的纯度。洁净室从最初的生物医药行业逐步扩展至电子、化工行业。近几年，对产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴起使得洁净室更充分的应用于化工领域。我单位根据所承建的江苏中能硅业多晶硅一期、二期及三期近三万平方米洁净室的施工经验，总结编定本工法。其中一期、二期洁净室已验收、检测合格，投入使用，顺利产出合格的多晶硅，取得了良好的社会和经济效益；三期洁净室正在紧张、有序施工。《多晶硅生产车间洁净室施工工法》被我公司评为2008年度施工工法一等奖。 2.特点 2．1洁净室的建造需要多个专业共同配合完成。土建专业要为建造洁净室提供合格的外围护结构。洁净室的装修材料要求壁板平整、接缝严密且平整光滑，不许有凸凹造型，阴阳角全部做成R＞50mm的圆弧角；窗户应与墙面平齐，不应设置凸出墙面的踢脚；风口、灯具采用带密闭罩的净化灯吸顶安装；地面采用不产尘材料整体制作，且平整、光滑、防静电。在洁净室内明装的管道均应采用不锈钢管，其连接采用氩电连焊。 2．2采用本工法施工，可以保证洁净室的施工质量，并可大大提高工效、减少材料消耗，降低施工成本，取得更大的经济效益。 3.适用范围 本工法适用于以多晶硅洁净厂房为代表、其净化要求为千级至十万级的精细化工、医药车间、电子车间等生产车间的施工，不适用于有特殊要求的生物工程实验室的施工。本工法重点介绍洁净室装修工程的施工内容，对洁净室施工中的通风、电气、给排水等专业的施工工艺不做详细说明。 4.工艺原理 通过二次排版设计和材料选用、节点选型进行施工，使洁净室内不出现污染死角或气流过滤不到的部位，没有扬尘。经过净化装修保证洁净室达到不产尘、不集尘要求，具有一定的密闭性能，确保室内维持一定的正压，防止外界非洁净空气渗入造成污染。 5.施工工艺流程及操作要点 5.1施工流程 施工流程遵循先有尘后无尘、先上后下的原则。具体施工顺序如下： 施工准备→测量放线→二次排版→材料加工→可调节吊杆安装→槽铝安装→壁板安装→T型铝安装→顶板安装→彩钢板调平并固定→门窗安装→阴阳角安装→风口安装→灯具安装→地面施工→过滤器安装→硅胶密封→保护膜拆除→清洁→洁净度检测→竣工验收 5.2操作要点 5.2. 　　经图纸会审及施工现场勘察，土建工程屋面防水及保温已竣工；室外门窗安装完毕，室内易产生粉尘的施工内容结束，水、电已进入施工现场，厂房周围能通过8t以上载重汽车。 5.2. 施工技术准备：根据业主提供的合格施工图及收集到的现场资料，结合工程特点，确定工程施工的管理技术人员构成、管理体系；熟悉、消化技术文件、设计图纸及相关规范、标准，做好设计交底和图纸会审工作，对各施工班级进行详细的施工技术交底。 材料及设备的准备：所使用材料必须符合设计要求和施工规范规定，且具有出厂合格证明书或相关质量证明文件。根据设计要求制定不同施工阶段的供应计划，落实货源，组织运输，安排好现场储备，保证项目施工连续、有序进行。 施工人员的准备：包括项目经理部管理人员和施工工人，及由此二者组成的工程施工管理层及作业层。 5.2 测量放线是洁净室装修施工的的基础，有多个专业共同安装施工的洁净室装修工程施工准确性至关重要，而测量放线是施工准确性能否得到保证的关键条件。由于施工中专业多、交叉施工复杂，洁净室装修测量需按统一的安装基准线进行，以纵横两方向的轴线为原始基准，确定一条对各专业施工最有利的安装基准线。采用激光水平仪或精度较高的水准仪进行测量放线。在测量放线中，必须采用多点法确定每一个基准点和基准线，以保证精确度，在地面尽可能低的地方寻找确定最高点，并在柱中央相对于地面最高点绘出500mm高的水准测量点。弹墨线前应用棉线校核基准点或参考点，墨线弹好后及时做好相关标记。 5.2. 根据现场测量放线的尺寸了解完成的建筑实体与图纸的误差进行二次排版，排版内容包括顶板、壁板及高效过滤器、灯具、门窗的安装位置及尺寸规格，绘出结点大样图和各部分的的详细尺寸。排版时尤其要注意考虑门窗、高效过滤器、灯具、通讯、消防、工艺管道所开孔洞与彩钢夹芯板间的模数、位置关系及强度、结构要求。对原设计图中的门窗尺寸及位置，在二次排版时可能根据现场实际进行一定调整。在排版过程中不能完全按照土建工程中的建筑模数，如果门窗口宽度没有特殊严格的尺寸要求，可以将门窗的宽度改为彩钢板的有效宽度并提前预留，裁下的板正好可做门扇材料，这样不但节约材料，而且门窗缝与彩钢夹芯板拼接缝相重合，效果美观。如果工艺要求门洞宽度大于彩钢夹芯板的有效宽度，做成双扇门且门洞位置于两板相邻壁板中间，裁下来的材料可做门扇。彩钢夹芯板上电气、工艺管道、消防、通讯