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气体设备的基础知识 一.气体设备种类 面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类 气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续的输送到下游设备。 BSGS：大流量特殊气体输送柜 GC：气瓶柜 GR：气瓶架 气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产的连续进行。 VMB：阀组箱 VMP：阀组盘 BSGS BSGS：大流量特殊气体输送柜 气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统 常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统 Y瓶 T瓶 BSGS 全自动控制 高压端工艺管径1/2，低压段工艺管径1/2 高低压自动吹扫功能 自动切换 ，可远程紧急关断阀门 autoguard防止误拆卸 高压气源过滤功能 10寸彩色触摸屏实现人机交互 功能 型号 PLC控制 彩色触摸屏面 高低压自动吹扫 自动切换 紧急切断 高压气源过滤 一级调压 二级调压 流量开关 auto guard 抽风罩 GS1 ü ü ü ü ü ü ü 　 * ü * GS2 ü ü ü ü ü ü ü ü * ü * 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ü必备功能；*为可选功能 BSGS 可选项简述 1、二级减压 当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减压至需用的压力。 2、流量开关 流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分 阀门结露 流量开关 BSGS 可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生 火焰侦测器 感烟探测器 感温探测器 BSGS 可选项简述 5、管线伴热 有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加流量 6、HEATING 同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法 7、抽风罩 气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩 如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀门、单向阀、钢瓶接头和接头锁 面盘管道加热 抽风罩 GC GC：气瓶柜 气源在柜内的气源处理设备 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备，一般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体供应系统 功能 型号 PLC控制 彩色触摸屏面 高压保压 自动吹扫 自动切换 紧急切断 远程自动关断 高压气源过滤 工艺气体管路调压 流量开关 auto guard C1A ü ü 　 ü ü ü ü ü 　 * ü C5A ü ü ü ü ü ü ü ü ü * ü 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ü必备功能；*为可选功能 GR GR：气瓶架 气源在柜外的气源处理设备 大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无毒害气体供应系统 区分 气体名称 气体性质 可燃 助燃 毒性 腐蚀 一般气体 O2 　 · 　 　 N2 　 　 　 　 Ar 　 　 　 　 H2 · 　 　 　 He 　 　 　 　 CO2 　 　 　 　 Ne 　 　 　 　 Xe 　 　 　 　 GR GR：气瓶架 GR的分类比较多，一般分有： 1、用于BSGS/GC的 吹扫的和保压 常用气体高纯氮气 VCR连接，高压端工艺管径1/4，低压段工艺管径1/4 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 GR GR：气瓶架 GR的分类比较多，一般分有： 2、大宗气体气源处理 根据介质性质，选择自吹扫和带吹扫 VCR连接，高压端工艺管径1/4，低压段工艺管径1/4 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 自动切换，远程紧急切断阀门 VMB VMB：阀组箱 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体 同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户