气体输送系统安全培训教材P.ppt

* Cylinder Gas Distribution Piping System Smaller tubing sizes and fewer tool hookups. Valve manifold boxes (VMBs) Two design philosophies: 1. 1 cylinder / 1 tool 2. Switchover Systems or VMBs * Materials of Construction Typical Materials of pipe or tube construction for the gas industry * Cylinder Gas Cabinet * A Variety of Gas Delivery Systems Examples: APCI GG250, 450, 500 Norcimbus Semi gas ATTO CVD KC-Tech The technician must know and understand the systems in use at the facility. * Valve Manifold Box (VMB) 阀组箱 A cabinet for splitting a single gas supply line into multiple supply branches for process equipment一个气瓶通过VMB同时供应多台设备。 Each branch operates independently各个分支独立控制 Manual or automatic operation Replaces as many as 8 cylinder gas cabinets 最大可至8个sticks，即1进8出。 * Valve Manifold Box (VMB) 阀组箱 * Valve Manifold Box (VMB) 阀组箱 * Gas Jungle　混气盒 * Gas System Components 1. Piping / tube 2. Valves 3. Regulators 4. Pressure indicators 5. Excess flow devices 6. Filters 7. Purifiers 8. Mass flow controllers * Piping / Tube Polymer - nylon, plastics, etc. Metals Copper, 304 SS, 316 LSS, 316 LSS VAR, Hastelloy * Piping / Tube Metal Treatments 2 types: 1. Polish抛光: Chempolish (acid)　CP化学抛光 Electropolish EP电解抛光 2. Passivation钝化: Oxygen Passivation Fluorine Passivation Mechanical Fittings Compression 双卡套接头 Threaded 螺纹接头 Vacuum 真空接头 Face seal 面密封接头VCR * 气体分类二—腐蚀性气体 低腐蚀性 HF BCl3 SiCl4 高腐蚀性 HCl BF3 DCS 腐蚀性气体之危险性 摧毁人体生理组织 腐蚀设备 以下几种气体的危险性来自腐蚀性 HF, BCl3, SiCl4 * 气体分类二—腐蚀性气体 被腐蚀的瓶口阀 * 气体分类二—腐蚀性气体 腐蚀性危险的防护 提供排风系统 正确操作气瓶 采用相容的原材料 降低含水量 适当的个人防护设备 * 气体分类二—腐蚀性气体 操作腐蚀性气体所应配备的个人防护设备 橡胶防护服 橡胶手套 面具 SCBA可选 * 气瓶操作 * 气瓶操作 单瓶运输车 * 气瓶操作 双瓶运输车 * 气瓶操作 多瓶运输车 * 气瓶操作 不要通过旋转来移动气瓶 * 气瓶操作 气瓶操作原则 不要机械撞击气瓶 不要用气瓶作为滚轮 不要通过气瓶盖吊升气瓶 不要用磁铁或吊索吊升气瓶 不要通过旋转来移动气瓶 固定住气瓶 * 气瓶操作 高温会引起瓶内压力上升 低温会引起瓶体易碎和瓶口阀实效 * 半导体厂房的气体供应方式 Pipeline Cylinders Y Cylinders/ISO Modules Tube Trailers Cryogenic Tanks * 气体供应方式 Bulk 大宗气体 Large quantity