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MV_RR_CNJ_0011 透射电子显微镜方法通则
1. 透射电子显微镜方法通则的说明
编号 JY/T 011—1996
名称 (中文) 透射电子显微镜方法通则
(英文) General rules for transmission electron microscopy
归口单位 国家教育委员会
起草单位 国家教育委员会
主要起草人 张大同 王永瑞
批准日期 1997 年 1 月 22 日
实施日期 1997 年 4 月 1 日
替代规程号 无
适用范围 本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法,适用于高压型、
高分辨型、普通型和简易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。
主要技术要求 1.定义
2.方法原理
3.仪器
4.样品
5.分析步骤
6.分析结果表述
是否分级 无
检定周期(年)
附录数目 无
出版单位 科学技术文献出版社
检定用标准物质
相关技术文件
备注
2. 透射电子显微镜方法通则的摘要
本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法,适用于高压型、高分辨型、普通型和简
易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。
2 定义
本标准采用下列定义。
2.1 分辨率 Resolution
透射电镜能明显分辨两个间距最小的物点和晶面的能力。
2.2 像散 Astigmatism
由于电磁透镜磁场的非旋转对称性,使透镜在相互垂直方向上的聚焦能力有差异,造成
图像模糊,这称为透镜像散。
2.3 电子衍射 Electron diffraction
电子束在晶体中散射,只在满足布拉格定律方向上有相互加强的衍射束出射,这种效应
称为电子衍射。
3 方法原理
透射电镜成像的决定因素是样品对入射电子的散射,包括弹性散射和非弹性散射两个过
程。薄样品成像时,未经散射的电子构成背景,而像衬度则取决于样品各部分对电子的不同
散射特性。采用不同的实验条件可以得到不同的衬度像。
透射电镜不仅能显示样品显微组织的形貌,而且可以利用电子衍射效应同时获得样品晶
体学信息。透射电镜的基本实验方法是成像方式和衍射方式。
3.1 成像方式
电子束通过样品进入物镜,在其像面形成第一电子像,中间镜将该像放大,成像在自己
的像面上,投影镜再将中间镜的像放大,在荧光屏上形成最终像,其放大倍率M为各成像透
镜放大倍率的乘积:
M =M ·M …M (n通常为3~6)
1 2 n
3.2 衍射方式
如果样品是晶体,它的电子衍射花样呈现在物镜后焦面上,改变中间镜电流,使其对物
镜后焦面成像,该面上的电子衍射花样经中间镜和投影镜放大,在荧光屏上获得电子衍射花
样的放大像。
4 仪器
4.1 仪器结构
4.1.1 照明系统
由电子枪和聚光镜组成。电子枪提供尺寸小的稳定电子源,发射高亮度电子束。聚光镜
将电子束会聚,照射在样品上。
4.1.2 样品室和成像系统
照明系统下面是样品室。样品放在样品座上,可在规定范围内移动、倾转。成像系统由
物镜、中间镜、投影镜组成,将样品像逐级放大呈现在荧光屏上。
4.1.3 观察和记录系统
投影镜下面是观察室,通过窗口可观察到荧光屏上的图像,荧光屏下方放置照像底片,
荧光屏竖起即可曝光记录图像。
4.1.4 其它系统和附件
包括真空系统、电源系统、安全保护系统和水冷系统。有的还备有扫描附件、微衍射装
置、电子能量损失谱仪(EELS)和X
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