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- 2019-06-14 发布于四川
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- | 2014-12-05 颁布
- | 2015-04-16 实施
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ICS 25.180.10
中华人民共和 国 国彖标准
GB/T 10067.410—2014
电热装置基本技术条件
第410部分:单晶炉
Basic specifications for electroheat installations —
Part 410 : Single crystal growing furnace
2014-12-05 发布 2015-04-16 实
GB/T 10067.410—2014
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GB/T 10067«电热装置基本技术条件》现有19个部分:
——第1部分:通用部分;
——第2部分:电弧加热装置;
——第3部分:感应电热装置;
——第31部分:中频无心感应炉;
——第32部分:电压型变频多台中频无心感应炉成套装置;
——第33部分:工频无心感应熔铜炉;
——第4部分:间接电阻炉;
——第41部分:网带式电阻加热机组;
——第42部分:推送式电阻加热机组;
——第43部分:强迫对流井式电阻炉;
——第44部分:箱式电阻炉;
——第45部分:真空淬火炉;
——第46部分:罩式电阻炉;
——第47部分:真空热处理和钎焊炉;
——第48部分:台车式电阻炉;
——第49部分 :自然对流井式电阻炉;
——第410部分:单晶炉;
——第411部分:电热浴炉;
——第5部分:高频介质加热设备。
根据需要还将陆续制定其他部分。
本部分为GB/T 10067的第410部分,应与GB/T 10067的第1部分和第4部分配合使用。
本部分按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本部分由中国电器工业协会提出。
本部分由全国丁业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)归口。
本部分起草单位:西安电炉研究所有限公司 、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理T晶科
股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。
本部分主要起草人:陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳。
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GB/T 10067.410—2014
电热装置基本技术条件
第410部分:单晶炉
1范围
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以
及标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅 、错等单晶的单晶炉。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件 ,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 150—2011钢制压力容器
GB/T 2900.23—2008 电工术语工业电热装置
GB 3095—2012环境空气质量标准
GB 8702— 1998电磁辐射防护规定
GB 8978— 1996污水综合排放标准
GB/T 10066.1—2004电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
GB/T 10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阳炉
GB/T 10067.1—2005电热装置
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