GB/T 15909-2017电子工业用气体　硅烷.pdf

ICS 71.100.20 G 86 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 15909—2017 代替 GB/T 15909—2009 电子工业用气体硅烷 Gas for electronic industry —Silane 2017-05-31 发布 2017-12-01 实施 发布 GB/T 15909—2017 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T 15909—2009 《电子T业用气体 硅烷》 。与GB/T 15909-2009相比，除编辑性 修改外主要技术变化如下： ——修改了标准名称，删除了标准名称中硅烷的分子式 （SiH」）； -修改了范围：增加了适用的制备方法，修改了适用范围 （见第1章,2009年版的第1章）； -修改了规范性引用文件：删除 GB/T 8984.3.GB/T 11640,增加 GB/T 11446.1,GB 15258、 GB/T 16804,GB/T 26571,GB/T 28726（见第 2 章，2009 年版的第 2 章）； -修改了技术要求:修改硅烷纯度为99.999 9X 10-2（体积分数）（见第3章,2009年版的第3章）； ——删除了电性能规格 （见2009年版的3.3）； ——修改了硅烷纯度的计算 （见4.2,2009年版的4.2 ）； 修改了氢、氧+氮、氮 、甲烷、炷、一氧化碳、二氧化碳、乙硅烷含量的测定方法（见4.4,2009年 版的 4.4 、4.6 、4.7 、4.9）； ——删除了测定氯化物总量测定方法 （见2009年版的4.5 ）; ——增加了氯硅烷含量的测定方法（见4.4 ）； ——修改了水含量测定方法的仪器检测限 （见4.5, 2009年版的4.8 ）； ——增加了金属及其他元素含量的测定方法 （见4.6 ）； ——修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章,2009年版的第5章）。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC 203/SC 1）归口。 本标准起草单位:西南化丁研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限 公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气 体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业 科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市 硅谷特种气体有限公司。 本标准主要起草人 ：余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、 陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 15909— 1995,GB/T 15909—2009o T GB/T 15909—2017