- 105
- 0
- 约3.7万字
- 约 24页
- 2019-06-16 发布于四川
-
正版发售
- 现行
- 正在执行有效期
- | 2009-10-30 颁布
- | 2010-06-01 实施
- 1、本标准文档 共24页,仅提供部分内容试读。
- 2、本网站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 3、本网站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 4、标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题
查看更多
ICS 29. 045
H 80 OB
中华人民共和国国家标准
GB/T 1554—2009
代替 GB/T 1554— 1995
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Testing method for crystallographic perfection of silicon by
preferential etch techniques
2009-10-30 发布 2010-06-01 实施
发布
GB/T 1554—2009
-1.Z- —1—
刖 弓
本标准代替GB/T 1554— 1995 《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》。
本标准与GB/T 1554— 1995相比,主要有如下变化:
——增加了 “本方法也适用于硅单晶片”;
——增加了 “术语和定义” 、“干扰因素”章;
—第4章最后一句将 “用肉眼和金相显微镜进行观察”修改为 “用目视法结合金相显微镜进行
观察”;
-将原标准中 “表1四种常用化学抛光液配方”删除,对化学抛光液配比进行了修改,删除了乙酸
配方;并将各种试剂和材料的含量修改为等级;增加了重量比分别为50%Cr (人和10%Cr()3
标准溶液的配比;增加了晶体缺陷显示常用的腐蚀剂对比表 ;依据SEMI MF1809-0704增加
了几种国际上常用的无锯、含锯腐蚀溶液的配方、应用及适用性的分类对比表;
—第9章将原GB/T 1554— 1995中 “(111)面缺陷显示” 中电阻率不小于0. 2 Q ・cm的试样腐
蚀吋间改为了 10 mi 〜15 mi ;气100)面缺陷显示中电阻率不小于0. 2 Q • cm的试样和电
阻率小于0. 2 Q • cm的试样腐蚀时间全部改为10 min~15 mi ; 增加了(110)面缺陷显示;增
加了对重掺试样的缺陷显示;在缺陷观测的测点选取中增加了 “米”字型测量方法。
本标准的附录A为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位:峨嵋半导体材料厂。
本标准主要起草人:何兰英、王炎、张辉坚、刘阳。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
——GB 1554— 1979.GB/T 1554— 19950
GB 4057 —1983 o
T
GB/T 1554—2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
1范围
本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
本标准适用于晶向为 〈111〉 、〈100〉或 〈110〉 、电阻率为IO-3 Q • cm〜10 Q • cm 、位错密度在
0 cm~2 〜IO: cm 2之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。
本方法也适用于硅单晶片。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的必威体育精装版版本 。凡是不注日期的引用文件,
您可能关注的文档
- GB T 1515-2002_锰矿石 磷含量的测定 磷钼蓝分光光度法_高清版_可检索.pdf
- GB T 1525-2006_制图纸_高清版_可检索.pdf
- GB T 1527-2017_铜及铜合金拉制管_高清版_可检索.pdf
- GB T 1528-1997_铜及铜合金挤制管_高清版_可检索.pdf
- GB T 1535-2017_大豆油_高清版_可检索.pdf
- GB T 1541-2013_纸和纸板 尘埃度的测定_高清版_可检索.pdf
- GB T 1549-2008_纤维玻璃化学分析方法_高清版_可检索.pdf
- GB T 1555-2009_半导体单晶晶向测定方法_高清版_可检索.pdf
- GB T 1557-2018_硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法_高清版_可检索.pdf
- GB T 13967-2008_全宗单_高清版_可检索.pdf
- 《GB/Z 44363-2024致热性 医疗器械热原试验的原理和方法》.pdf
- GB/T 16716.6-2024包装与环境 第6部分:有机循环.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 《GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统》.pdf
- GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 44305.2-2024塑料 增塑聚氯乙烯(PVC-P)模塑和挤塑材料 第2部分:试样制备和性能测定.pdf
- 《GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求》.pdf
- GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 39560.9-2024电子电气产品中某些物质的测定 第9 部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物中的六溴环十二烷.pdf
文档评论(0)