GB/T 16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则.pdf

ICS 71.040.99 N 53 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 16594—2008 代替 GB/T 16594— 1996 微米级长度的扫描电镜测量方法通则 General rules for measurement of length in micron scale by SEM 2008-09-18 发布 2009-05-01 实施 发布 GB/T 16594—2008 -1.Z- —1— 刖 弓 本标准代替GB/T 16594— 1996 《微米级长度的扫描电镜测量方法》。 本标准与GB/T 16594— 1996相比主要变化如下： ——将 “测量方法”改为 “测量方法通则”； ——将 “误差分析”改为 “不确定度评定”； ——增加样品变形产生的不确定度评定； ——改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值； ——增加 “被测长度方向的调整”附录’ 本标准的附录A为规范性附录，附录E〜附录D为资料性附录。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。 本标准主要起草单位：上海元宝能源技术有限公司、上海理工大学、上海市计量测试技术研究院、同 济大学、中国船舶重工集团公司第725研究所。 本标准主要起草人 ：张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 16594— 1996O T GB/T 16594—2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则 1范围 本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的通用原则 。适用于测量(0.5~10)Mm的长度。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。凡是注日期的引用文件 ，其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是 否可使用这些文件的必威体育精装版版本 。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准。 JJF 1001— 1998通用计量术语及定义 JJG 550-1988扫描电子显微镜国家计量检定规程 JJF 1059— 1999测量不确定度评定与表示 BIPM IE IF ISO IUPA IUPAP 0IML— 1993 测量不确定度表示指南(Guide to the Ex­ pression of Uncertainty in Measurement) 3术语和定义、符号、缩略语 3. 1术语和定义 JJF 1001— 1998确定的以及下列术语和定义适用于本标准。 3. 1. 1 标准长度 standard length 量值足够稳定，经过精确标定，获得其测得值和不确定度，并由权威机构批准发布的客观存在的 长度。 3. 1.2 被测长度 measured length 通过测量获得其测得值和不确定度的客观存在的长度。 3. 1.3 被测物质 measured matter 承载被测长度