GB/T 17473.6-2008微电子技术用贵金属浆料测试方法　分辨率测定.pdf

ICS 77. 120.99 H 68 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 17473.6—2008 代替 GB/T 17473. 6— 1998 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测 Test methods of precious metals pastes used for microelectronics —Determination of resolution 2008-03-31 发布 2008-09-01 实施 发布 GB/T 17473.6—2008 -1.Z- —1— 刖 弓 本标准代替GB/T 17473-1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》（所有部分），本标准分 为7个部分： -GB/T 17473. 1--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测 ； ——GB/T 17473. 2--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测 ； ——GB/T 17473.3--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测 ； ——GB/T 17473. 4--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 附着力测试； ——GB/T 17473.5--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘度测 ； ——GB/T 17473.6--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测 ； ——GB/T 17473.7--2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 可焊性、耐焊性测 。 本部分为GB/T 17473—2008的第6部分。 本部分代替GB/T 17473. 6-1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测 》。 本部分与GB/T 17473.6-1998相比，主要有如下变动： ——将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测 ； ——增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容； —原 “光刻膜丝网网径20-25 “rn不锈钢丝网”改为 “光刻膜丝网，丝网孔径不大于54 “n”； -增加6. 3将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干 、固化，固化后试样膜厚控 制在l“m 〜15pm； 分辨率规格分级重新定义为0. 1 mm 、0. 2 mm 、0. 3 mm 、0. 4 mm 、0. 5 mm五个级别。 本部分由中国有色金属工业协会提出。 本部分由全国有色金属标准化技术委员会负责归口。 本部分由贵研钳业股份有限公司负责起草。 本部分起草人:刘成、赵汝云、陈伏生、马晓峰、刘继松、朱武勋。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 17473. 6— 1998O T