- 226
- 0
- 约1.7万字
- 约 12页
- 2019-06-17 发布于四川
-
正版发售
- 现行
- 正在执行有效期
- | 2014-12-22 颁布
- | 2015-07-01 实施
- 1、本标准文档 共12页,仅提供部分内容试读。
- 2、本网站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 3、本网站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 4、标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题
查看更多
ICS 71.100.20
G 86
中华人民共和国国彖标准
GB/T 18867—2014
代着 GB/T 18867—2002
电子工业用气体六氟化硫
Gases for electronic industry —Sulphur hexaflouride
2014-12-22 发布 2015-07-01 实施
GB/T 18867—2014
■ i r ■ ■ i
刖 吕
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准代替GB/T 18867—2002 《电子工业用气体 六氟化硫》 。与GB/T 18867—2002相比,除编
辑性修改外主要技术变化如下:
——修改了范围 (见第1章,2002年版的第1章);
——修改了规范性引用文件 (见第2章,2002年版的第2章);
——修改了技术指标 (见第3章,2002年版的第3章);
——修改了抽样、判定和复验 (见4.1, 2002年版的第5章);
——修改了氧+氮、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法(见4.3,2002年版的4.2 、4.3);
——删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法(见2002年版的4.4 );
——增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法(见4.3);
——修改了水分含量的测定方法 (见4.4,2002年版的4.5);
——修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2002年版的第6章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。
本标准起草单位:黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高
精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司 、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究
设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司 、核T业理化T程研究院华核新技
术开发公司。
本标准主要起草人:黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李哓明、
曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
——GB/T 18867—2002o
T
GB/T 18867—2014
电子工业用气体六氟化硫
1范围
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学
气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
分子式:SFg 。
相对分子质量;146.0564192( 2007年国际相对原子质量计算)。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本 (包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190危险货物包装标志
GB/T 3723 T业用化学产品采样安全通则
GB 5099钢质无缝气瓶
GB/T 5832.1气体湿度的测定 第1部分:电解法
GB/T
您可能关注的文档
- GB T 18856.6-2008_水煤浆试验方法 第6部分:密度测定_高清版_可检索.pdf
- GB T 18856.7-2008_水煤浆试验方法 第7部分: pH值测定_高清版_可检索.pdf
- GB T 18879-2008_滑道安全规范_高清版_可检索.pdf
- GB T 18880-2012_粘结钕铁硼永磁材料_高清版_可检索.pdf
- GB T 18881-2017_轻型汽油车排气净化催化剂_高清版_可检索.pdf
- GB T 18894-2016_电子文件归档与电子档案管理规范_高清版_可检索.pdf
- 2025届吉林省辽河高级中学高三一诊考试生物试卷含解析.doc
- 湖北省宜昌金东方高级中学2025届高考仿真卷历史试卷含解析.doc
- 山西省忻州市第一中学2025届高考历史三模试卷含解析.doc
- 四川省成都七中万达学校2025届高考生物倒计时模拟卷含解析.doc
- 甘肃省白银市会宁县第一中学2025届高三3月份第一次模拟考试化学试卷含解析.doc
- 2025届吉林市第一中学高考考前模拟生物试题含解析.doc
- 四川省三台县芦溪中学2025届高三下第一次测试生物试题含解析.doc
- 2025届江苏省启东市吕四中学高三适应性调研考试历史试题含解析.doc
- 浙江省宁波市十校2025届高三二诊模拟考试历史试卷含解析.doc
- 甘肃省甘南2025届高考生物必刷试卷含解析.doc
- 河北省石家庄市一中、唐山一中等“五个一”名校2025届高考历史四模试卷含解析.doc
- 江西省南昌市进贤一中2025届高考生物考前最后一卷预测卷含解析.doc
- 甘肃省白银市会宁县第四中学2025届高三第二次模拟考试历史试卷含解析.doc
- 宁夏银川市宁夏大学附属中学2025届高考化学押题试卷含解析.doc
文档评论(0)