GB/T 31092-2014蓝宝石单晶晶锭.pdf

ICS 29.045 H 83 OB 中华人 民共和 国 国彖标准 GB/T 31092—2014 蓝宝石单晶晶锭 Monocrystalline sapphire ingot 2014-12-22 发布 2015-09-01 实施 GB/T 31092—2014 目 次 前言m i范围1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 要求1 5 检验方法 3 6 检验规则 4 7标志、包装、运输、贮存和质量证明书5 8 订货单（或合同）内容 6 附录A （规范性附录 ）总杂质含量的测定方法 7 附录B （规范性附录 ）位错密度测试方法9 附录C （规范性附录 ）双晶摇摆Ittl线的半峰宽值的检测方法12 附录D （规范性附录 ）局部光散射体、气泡、包裹物及散射颗粒检测方法15 附录E （规范性附录 ）镶嵌、李晶的检测方法 18 附录F （规范性附录 ）透光率检测方法 20 T GB/T 31092—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、常州亿晶 光电科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司。 本标准主要起草人：刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、吴剑波、蔡金荣、赵新俭. m GB/T 31092—2014 蓝宝石单晶晶锭 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书、 订货单 （或合同）内容。 本标准适用于蓝宝石单晶晶锭，产品可用于制造氮化稼外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材 料 （以下简称晶锭）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 GB/T 1555半导体单晶晶向测定方法 GB/T 2828.1计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限 （AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 蓝宝石 sapphire