GB/T 31093-2014蓝宝石晶锭应力测试方法.pdf

ICS 77.040.10 中华人民共和 国 国彖标准 GB/T 31093—2014 蓝宝石晶锭应力测试方法 Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot 2014-12-22 发布 2015-09-01 实施 GB/T 31093—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能 阳光新能源技术有限公司。 本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰。 T GB/T 31093—2014 蓝宝石晶锭应力测试方法 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 本标准适用于经过加工后直径为50.8 mm 〜200 mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试，其他尺寸蓝 宝石晶锭 （以下简称晶锭）的应力测试可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。 4方法提要 蓝宝石为单轴晶体，c轴为光轴 。使用典型的会聚平面偏振光干涉试验装置，晶体的光轴与切面垂 直，并且和仪器的光轴平行 ，在会聚光的情况下，会产生干涉，形成锥光图 。锥光图由黑十字和同心圆状 的干涉色圈组成，干涉色圈以黑十字交点为中心（光轴出露点），成同心环状，干涉色圈的多少，取决于晶 体的双折射率的大小及厚度。 当晶体局部规则的结构被破坏，产生的应力使得该位置上的光轴方向发生改变，光束通过此位置 时，所得到的锥光图中的黑十字变形 ，因此可以通过观察晶体各个位置的锥光图来检测晶体的应力。 5干扰因素 5.1晶锭内部有气泡、包裹物等会影响应力的判断。 5.2晶锭加工过程中引起的内部裂纹会影响应力的判断。 6试验设备 应力仪，其典型光路如图1所示 。仪器的光学系统由光源（1）发出的光速通过隔热片 （2）、聚光 镜（3）、反射镜（4）和起偏镜（5）变为平面振镜，在通过发散镜（7）、台面玻璃 （8）后投射到被测试样上，最 后通过检偏镜 （10）将看到具有应力特征的锥光图。 1 GB/T 31093—2014 说明： 1 ——光源； 6 ——全波片； 2 隔热片； 7 发散镜； 3 聚光镜; 8 台面玻璃； 4— —反光镜; 9— —试样； 5— —起偏镜; 10— —检偏镜。 图1应