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- 2019-06-20 发布于四川
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- | 2016-12-13 颁布
- | 2017-07-01 实施
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ICS 71.060.50
中华人民共和 国 国彖标准
GB/T 33336—2016
高纯工业品三氯氧磷
High purity phosphorus oxychloride of industrial use
2016-12-13 发布 2017-07-01 实施
GB/T 33336—2016
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本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国石油和化学丁业联合会提出。
本标准由全国化学标准化技术委员会(SAC/TC 63)归口。
本标准起草单位:贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、贵州省产品质量监督检验院 、徐州市建平
化丁有限公司、铜山县宏达精细化工厂、锦西化工研究院有限公司。
本标准主要起草人:蒋飕、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、周大颖、刘涛、陈泉、程永福、龚宁、程群、
邵青松 、伍昌维、程化鹏、张建刚、殷浩、马西刚、李富荣.
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GB/T 33336—2016
高纯工业品三氯氧磷
警示一高纯工业品三氯氧磷在湿空气中激烈发烟.遇水猛烈反应生成磷酸,并释放出氯化氢气
体.遇热时分解成磷的氯化物和高毒的氧化物薄膜 。在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。
接触高纯工业品三氯氧磷时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具 。严禁与水接触.避免吸入蒸汽、接
触皮肤及黏膜 。当发生泄漏时,应用泥沙或石灰处理 ,如已接触皮肤,应立即用大量流动水冲洗。
1范围
本标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和
贮存。
本标准适用于高纯工业品三氯氧磷 。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路
和超大规模集成电路芯片等的扩散源。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件 ,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB/T 191包装储运图示标志
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GB/T 603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
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GB/T 6680液体化T产品采样通则
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 11446.1 电子级水
GB 15258化学品安全标签编写规定
GB 50472电子工业洁净厂房设计规范
HG/T 3606—2009 丁业用三氯氧磷
3分子式和相对分子质量
分子式:POCl3o
相对分子质量:153.33(按2013年国际相对原子质量)。
4分级
高纯工业品三氯氧磷分为两个等级:
——6N级:纯度(基于阳离子)^99.999 9% ,主要用于太阳能光伏电池扩散源。
—7N级:纯度(基于阳离子)^99.999 99% ,主要用于大规模集成电路(IC)、分离器件扩散源。
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GB/T 33336—2016
5要求
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