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- 2019-06-20 发布于四川
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- | 2016-08-29 颁布
- | 2017-03-01 实施
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ICS 31.200 k_ __
L55
口目
中华人民共和国国彖标准
GB/T 32815—2016
硅基MEMS制造技术
体硅压阻加工工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology —
Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
2016-08-29 发布 2017-03-01 实施
GB/T 32815—2016
目
前言m
i范围1
2规范性引用文件1
3 术语和定义 1
4 T艺流程 1
4.1 概述 1
4.2 硅片选择1
4.3硅片压阻区制备 1
4.4 硅片隔离区制备 5
4.5 硅片背腔腐蚀 6
4.6 硅片引线制备 (G) 10
4.7 玻璃片金属电极制备 12
4.8 硅-玻璃键合 14
4.9键合片硅面刻蚀 15
5 T艺保障条件要求 17
5.1 人员要求17
5.2 环境要求17
5.3 设备要求17
6 原材料要求 18
7 安全操作要求19
7.1 用电安全19
7.2 化学试剂19
7.3 排放 19
8 检验19
8.1 总则 19
8.2 检验方法和要求 19
T
GB/T 32815—2016
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刖 吕
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口。
本标准主要起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微
系统科技有限公司。
本标准主要起草人:张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、
姜博岩。
m
GB/T 32815—2016
硅基MEMS制造技术
体硅压阻加工工艺规范
1范围
本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加T时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅-玻璃键合的体硅压阻加丁工艺的加T和
质量检验。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件 ,其必威体育精装版版本(包括所
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