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- 2019-06-20 发布于四川
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- | 2016-10-13 颁布
- | 2017-09-01 实施
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ICS 77.150.30
H 62 GB
中华人民共和国国彖标准
GB/T 33140—2016
集成电路用磷铜阳极
Phosphorized copper anode used for integrated circuit
2016-10-13 发布 2017-09-01 实施
GB/T 33140—2016
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本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国有色金属丁业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。
本标准主要起草人:高岩、何金江、姚力军 、曾浩、刘书芹、王学泽、李勇军、徐学礼、赵玉林、刘志杰、
熊晓东、陈明、刘秀、袁海军。
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GB/T 33140—2016
集成电路用磷铜阳极
本标准规定了集成电路用磷铜阳极 (以下简称:磷铜阳极)的要求、试验方法、检验规则及标志、包
装、运输、贮存、质量证明书和订货单 (或合同)内容。
本标准适用于集成电路用的各类磷铜阳极产品。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本 (包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3177产品几何技术规范(GPS )光滑工件尺寸的检验
GB/T 5121.2铜及铜合金化学分析方法 第2部分:磷含量的测定
GB/T 5121.4铜及铜合金化学分析方法 第4部分:碳、硫含量的测定
GB/T 5121.28 铜及铜合金化学分析方法 第28部分:饼、铁、猛、钻、镰、锌、神、硒、银、镉、锡、
铺、碼、铅、祕量的测定 电感耦合等离子体 质谱法
GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347铜及铜合金平均晶粒度测定方法
YS/T 922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
磷铜阳极 phosphorized copper anode
在集成电路中采用电化学电镀工艺制备高纯铜金属镀层的阳极。
4要求
4.1产品分类
4.1.1磷铜阳极按形状分为圆形、矩形和异形 (如三角形、环形等),示意图见图lo
a )圆形 b) 矩形 c) 环形
图 1磷铜阳极形状示意图
1
GB/T 33140—2016
4.1.2磷铜阳极按结构分为单体和组合体,结构示意图见图2。
图2磷铜阳极单体和组合体结构示意图
注 :需方有特殊要求时,由供需双方商定。
4.2牌号
磷铜阳极
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