GB/T 35305-2017太阳能电池用砷化镓单晶抛光片.pdf

ICS 29.045 H 83 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 35305—2017 太阳能电池用碑化¥家单晶抛光片 Monocrystalline gallium arsenide polished wafers for solar cell 2017-12-29 发布 2018-07-01 实施 发布 GB/T 35305—2017 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位：云南临沧鑫圆错业股份有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司 、中国科学院 半导体所。 本标准主要起草人:惠峰、普世坤 、吕春富、董汝昆。 T GB/T 35305—2017 太阳能电池用碑化镌单晶抛光片 1范围 本标准规定了太阳能电池用神化傢单晶抛光片的要求 、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、 贮存和质量证明书。 本标准适用于太阳能电池用神化傢单晶抛光片 （以下简称碑化傢抛光片）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 6618硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T 6619硅片弯曲度测试方法 GB/T 6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T 6621硅片表面平整度测试方法 GB/T 6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T 25075 太阳能电池用神化傢单晶 GB/T 25915.1洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级 GB/T 29505硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 YS/T 26硅片边缘轮廓检验方法 3术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。 4要求 4.1分类 4.1.1神化傢抛光片按导电类型分为N型和P型两种。 4.1.2 神化傢抛光片按直径大小分为050.8 mm 、076.2 100.0 mm •三种。 4.2理化及电学性能 神化傢抛光片的电阻率、载流子浓度、晶向及晶向偏离度、位错密度应符合GB/T 25075的规定。 4.3几何参数 神化傢抛光片的几何参数应符合表1的规定。 1 GB/T 35305—2017