GB/T 35158-2017俄歇电子能谱仪检定方法.pdf

ICS 71.040.40 G 04 £3© 中华人民共和国国家标准 GB/T 35158—2017 俄歇电子能谱仪检定方法 Verification method for Auger electron spectrometers 2017-12-29 发布 2018-11-01 实施 发布 GB/T 35158—2017 目 次 前言in 引言w 1范围1 2规范性引用文件1 3 缩略语和符号1 3.1 缩略语 1 3.2 符号 1 4 方法原理与系统构成 4 4.1 方法原理4 4.2 系统构成4 5 计量单位与技术指标 4 5.1计量单位4 5.2 技术指标5 6 检定环境 6 6.1 外观要求6 6.2 安装场所要求 6 6.3 电源 6 6.4环境温度与湿度 6 7 检定项目与方法6 7.1 能量标检定 6 7.2 强度标检定24 7.3 横向分辨率检定 31 7.4 离子枪检定40 7.5 荷电控制与校正检定 50 8报告检定结果55 9 检定周期 55 参考文献 56 T GB/T 35158—2017 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)提出并归口。 本标准起草单位:厦门大学、清华大学。 本标准起草人:姚文清 、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊。 I GB/T 35158—2017 言 俄歇电子能谱仪(AES)r泛用于材料的实验性和常规性表面与界面分析，为纳米尺度的表面分析 仪器 。我国目前有多家公司几十台不同型号的该类仪器 。由于没有合适的检定方法的综合性国家标 准，仪器的能量标、强度标，溅射速率、横向分辨率等各项性能标准不统一，因此需要制定检定方法的国 家标准，以实现获取的谱图数据的科学性和可比性，这对于促进我国光电信息、能源及新材料等相关领 域的科技与产业的发展很有意义。 N GB/T 35158—2017 俄歇电子能谱仪检定方法 1范围 本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。 本标准适用于激发源为电子束 ，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日