GB/T 8757-2006砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法.pdf

ICS 77. 040. 01 H 17 中华人民共和国国家标准 GB/T 8757—2006 代替 GB/T 8757— 1988 碑化镌中载流子浓度等离子共振 测量方法 Determination of carrier concentration in gallium arsenide by the plasma resonance minimum 2006-07-18 发布 2006-11-01 实 发布 GB/T 8757—2006 ■ 1 / ■ ■ 1 刖 a 本标准是对GB/T 8757— 1988 《神化傢中载流子浓度等离子共振测量方法》的修订。 本标准与GB/T 8757— 1988相比主要有以下变动： -原标准表述仪器要求使用了波数表示法，为了和其他条款的表述一致，改为波长表示法； -原标准规定，为测定仪器的波长精度和重复性，要测量聚苯乙烯膜的吸收带10次 。但未规定 是按固定周期还是在每次测量前做这项工作，也没有规定如果在这10次测量结果中出现一次 或几次不符合要求时应如何处理，不便于实际操作 。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明 书的要求预热一定时间后.在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准； ——原标准5.1式中的常数c对于神化傢材料总是为零,故在表达式中取消。 本标准自实施之日起代替GB/T 8757— 1988O 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人:王彤涵。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 8757— 19880 T GB/T 8757—2006 碑化掾中载流子浓度等离子共振 测量方法 1范围 本标准适用于掺杂碑化傢单晶中载流子浓度的测量。测量范围： n-GaAs 1. OX1O17 cm 3〜1.0X10cmT p-GaAs 2. OX1O18 cm 3〜l.OXlO?” ^厂彳 2原理 在红外光谱区域,重掺杂半导体材料的反射率为波长的函数，材料的载流子浓度和反射光谱的等离 子体共振极小值波长具有对应关系，测量此波长，根据公式可计算出载流子浓度。 3仪器 3. 1双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪，波长范围为2. 5 Mm~50 yin,或波数范围为 4 000 cm |〜200 cm 1 o如果波长范围较窄，则测量范围相应减小。 3. 2仪器的波长和波长重复性误差不大于0. 05卩m 。在10 处光谱分辨率为0. 02 或更好。 3.3仪器应配有反射附件，入射角不大于30° 。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑。 4样品 4. 1作为样品的单晶片 ，表面必须研磨后进行机械或化学抛光，使样品表面在良好的光线下看上去平 整光洁。 4.2样品的导电类型应是已知的。 5测量 5. 1仪器校准 5. 1. 1打开仪器,按说明书的要求进行预热 。测量厚度为300