GB/T 8758-2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法.pdf

ICS 77. 040. 01 H 17 中华人民共和国国家标准 GB/T 8758—2006 代替 GB/T 8758— 1988 碑化镌外延层厚度红外干涉测量方法 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference 2006-07-18 发布 2006-11-01 实 发布 GB/T 8758—2006 ■ 1 / ■ ■ 1 刖 a 本标准是对GB/T 8758— 1988 《神化傢外延层厚度红外干涉测量方法》的修订。 本标准自实施之日起代替GB/T 8758— 1988O 本标准与GB/T 8758— 1988相比主要变动如下： -原标准表述仪器要求的3.1.3条使用了波数表示法，为了和其他条款的表述一致，改为波长 表示法。 -原标准规定，为测定仪器的波长精度和重复性 ，要测量聚苯乙烯膜的吸收带十次 。但未规定是 按固定周期还是在每次测量前做这项工作 ，也没有规定如果在这十次测量结果中出现一次或 几次不符合要求时应如何处理 ，不便于实际操作 。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明书 的要求预热一定时间后，在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人:王彤涵。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 8758— 19880 T GB/T 8758—2006 碑化掾外延层厚度红外干涉测量方法 1范围 本标准适用于神化傢外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2（umo要求衬底功料的电阻率小于 0. 02 Q • cm,外延层的电阻率大于0. 1 Q • cm0 2原理 衬底材料与外延层的光学常数差别较大.当红外光入射到外延片表面时，在反射光谱中产生干涉条 纹 。根据干涉条纹的极大值或极小值的波长位置、衬底材料和外延层的光学常数以及光束的入射角 ，可 计算出外延层的厚度。 3仪器 3. 1双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪，波长范围为2. 5 Mm~50 “i,或波数范围为 4 000 cm 1 〜200 cm 1。 3. 2仪器的波长和波长重复性误差不大于0. 05 在10 处光谱分辨率为0. 02 或更好。 3.3仪器应配有反射附件，入射角不大于30° 。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑。 4样品 4. 1用于测量的样品应具有良好的光学表面，不应有大面积的钝化层。 4.2衬底和外延层的导电类型及衬底的电阻率应是已知的。 5测量过程 5. 1仪器校准 5. 1. 1打开仪器，按说明书的要求进行预热 。测量厚度为300 “n〜500 的聚苯乙烯膜的吸收光 谱，核对3. 303 吸收带，其结果应满足3. 2的要求。 5. 1.2安装反射附件后测量100%线，其峰谷值差应小于8%。 5.2选择扫描速度