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* * * * * * Equipment UP Time (2) Sample Calculations Scenario 1: In February 2000, Run Time = 700 hours, Lost Time = 100 hours, Test Time = 100 hours, and Backup Time = 50 hours for WCVD equipment. Scenario 1 WCVD Available Time: In February 2000, Avail Time = 950 hours Lost Rate = 100 / 950 = 10.5% Wafer Per Hour (WPH) (1) Definition Number of wafers processed per hour. Method of Calculation WPH = Wafer Move / Run Time Purpose of Wafer Per Hour (WPH) Index (1) From the present equipment WPH we can determine whether the current equipment rate of production total is normal. The equipment WPH can be used to derive the equipment capacity, which can be in turn used to determine if the total capacity for a particular capability is sufficient. Wafer Per Hour (WPH) (2) Purpose of Wafer Per Hour (WPH) Index (2) The ratio of the current equipment WPH to the Theoretical – WPH (T – WPH) can be used to determine if the equipment is presently operating in the optimum conditions. WPH index can also be used to measure individual MA or shift performance, especially so in manual operations. Relative WPH between equipment running the same recipe can be used to determine the individual equipment Sample Calculations (1) Scenario 1: On 1st of February 2000, Run Time = 20 hours and Wafer Moves = 1700 wafers for WCVD equipment. Scenario 2: The same equipment for the month of February 2000, Run Time = 600 hours and the total Wafer Moves = 54,000 wafers. Scenario 3: Run Time = 12 hours, Wafer Moves by Operator A = 500 and Operator B = 400 on the same equipment. Sample Calculations (2) Scenario 1 WCVD WPH: On 1st of February 2000, WPH = 1,700 / 20 = 85 wafers / hour Scenario 2 WCVD WPH: In the month of February 2000, WPH = 54,000 / 600 = 90 wafers / hour Therefore, we can say that the current equipment rate of production is lower than the average for the whole month. Scenario 3: Operator A has a WPH = 500 / 12 =
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