英福康氦检仪技术手册.doc

UL1000Fab技术手册 第 PAGE 24 页 共 NUMPAGES 109 页 PAGE PAGE 24 技 术 手 册 2003年3月11日 2.0版 UL1000 Fab 氦 检 漏 仪 目录 1 一般信息 1.1 本手册使用符号 1.1.1 安全符号 1.1.2 指示符 1.1.3 真空符号 1.1.4 术语定义 1.2 INFICON服务的支持 1.2.1 维修中心 1.3 前言 1.3.1 用途 1.3.2 技术参数 物理参数 电气参数 其它参数 环境条件 1.4 开箱 1.4.1 设备供货范围 1.4.2 附件与选件 吸入器管线SL200 工具箱 氦气瓶支架 ESD 垫层 手持单元 2 安装 2.1 运输 2.2 就位 2.3 电连接 2.3.1 供电电源 2.3.2 数据采集系统的连接 附件 数字输出 数字输入 记录仪 RS232 手持单元 2.4 真空连接件 2.4.1 进气口 2.4.2 排气 2.4.3 放空 2.4.4 冲洗/气镇 3 初始运行检查 3.1 需要的设备 3.2 初始运行说明 3.2.1 启动与测量 0-2 3.2.2 内部校准 3.2.3 验证 4 说明和工作原理 4.1 前言 4.2 UL1000Fab的组件 4.2.1 真空系统 4.2.2 控制面板 液晶显示器 启动按键 停止按键 抑零按键 菜单按键 软键 数值输入 4.3 工作模式 4.3.1 真空模式 4.3.2 吸入器模式 5 UL1000Fab的运行 5.1 显示屏 5.2 起转模式中的显示屏 5.3 测量模式中的显示屏 5.3.1 校准的调用 5.3.2 扬声器音量 5.3.3 显示屏的状态线 5.3.4 数值显示模式 5.3.5 趋向模式 6 菜单说明 6.1 主菜单 6.2 一览 6.2.1 线性/对数刻度 6.2.2 显示范围 自动/手动 6.2.3 时间轴 6.2.4 对比度 6.2.5 待用模式中的本底 6.2.6 小数点位数 6.2.7 漏率过滤器 6.3 模式 6.4 触发与警告 6.4.1 触发值1 6.4.2 触发值2 6.4.3 音量 6.4.4 单位 6.4.5 警告延迟 6.4.6 音响警告型式 定点 0-3 漏率正比 设点 触发警告 6.5 校准 6.6 设定值 6.6.1 真空设定值 放空延迟 保护功能 内测试漏孔漏率 机器因素 6.6.2 抑零-时间 6.6.3 质量 6.6.4 接口 记录仪输出 6.6.5 杂项 时间和日期 语言 校准请求 电源频率 服务区间排气过滤器 服务信息排气过滤器 6.6.6 参数保存/载入 载入参数组1 载入参数组2 6.7 信息 6.7.1 服务 调试 因素 切换灯丝 高级功能 手动调谐 复位功能 6.8 查访控制 6.8.1 查访校准功能 6.8.2 更改菜单-PIN 6.8.3 更改设备-PIN 6.8.4 抑零 7 校准 7.1 前言 7.2 校准进程 7.2.1 内部校准 自动内部校准 手动内部校准 7.2.2 外部校准 8 误差和警告信息 8.1 提示 0-4 8.2 信息清单 9 接口说明 9.1 ASCII-模式 9.1.1 误差信息 9.1.2 参数 9.1.3 实例 9.1.4 指令清单 9.2 二进制模式 9.2.1 实例 9.2.2 数据格式 9.2.3 误差信息 9.2.4 指令 10 维护 10.1 INFICON服务 10.2 维护计划 10.2.1 最小维护 10.2.2 标准维护 10.2.3 高级维护 10.3 维护步骤 10.3.1 更换排气消音器 10.3.2 打开UL1000Fab 10.3.3 检查/更换过滤器过滤筛网 10.4 涡轮分子泵 10.5 涡旋泵 附录 A 图 B 索引 0-5 一般信息 注意 我们建议您仔细阅读本使用说明书，以保证从一开始就进入 最佳工作状态。 本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装