川宝曝光机维修手册-A.docVIP

川寶科技股份有限公司 　 Chime Ball Technology CO., LTD 研發部 E2000-5KAC 自動對位平行光曝光機 維修手冊 文件編號：MAM-F001 制訂日期：2003年09月17日 版本：A 頁號： PAGE 1/ NUMPAGES 24 PAGE PAGE 1 目錄 1、前言…………………..………………….…………...…………………………..4 1.1各部位機構及位置簡介 1.2門板拆解之步驟 2、CCD移載機構….………………………………………………….…..……………5 2.1 CCD攝影機動作異常處理步驟 2.2 CCD攝影機之上下動作線性滑軌，移動不順暢 2.3感應器檢知逾時 2.4紅色環燈光源 2.5 CCD影像消失出現GRAB WAITING字樣 2.6 CCD鏡頭清潔 3、移載平台.……..……………………………………..…………………….…………7 3.1框架開啟不順暢 3.2框架上下交換不順暢 3.3傳動皮帶斷裂處理 3.4傳動馬達檢修作業方法 3.5傳動馬達更換步驟 4、電控元件..……………………………………………….…………….….……….10 4.1溫控器 4.2電子式真空表 4.3變頻器 4.4 12V、24V、45V電源供應器 4.5電磁閥總成 4.6繼電器總成 4.7半導體專用日光燈 4.8檯面控制按鈕與開關 4.9時間電繹 5、感應元件…………..…………………………………………………………...…..16 5.1能量感應器 5.2反射鏡開關感應器 5.3快門開關感應器 5.4 I/O的查修 6、燈室組件與問題的查修……………………………………………………….…..17 6.1燈室快門 6.2燈管無法點亮與點燈器有關之原因 6.3電源供應器無供電 6.4斷電開關過載7、溫度與冷卻裝置異常..………………...………………………………….….…..18 7.1曝光室溫度異常 7.2燈室溫度異常 7.3燈室下方風扇檢查 8、冷卻裝置..……..……………………………………………………………..……16 8.1冰水機檢查 8.2冰水溫度過高 8.3指示燈與訊息 9、故障訊息.……..……………………………………………………………..…….17 1、前言 1.1各部位機構及位置簡介 CCD影像 CCD影像 移載機構 操作面板 配電盤 曝光室 燈室 冷卻循環機構 附註：文章內的左右側是以面對機台為標準，面對機台右手邊為右側，左手邊為左側。 1.2門板拆解之步驟 A.將圖面門板鎖『○』處按下 B.按下後：門板鎖會彈起 C.彈起後左側的門板鎖向『順時針』方向旋轉，右側則向『逆時針』旋轉即可打開 BDFC B D F C A H 2.1 CCD攝影機動作異常的處理步驟： 2.1.1先將9P DC接頭拔除避免驅動器警示燈誤判。 2.1.2檢查API步進馬達驅動器的警示燈為何顏色黃綠色(正常)；紅色(異常)。 ABCDF A B C D F H 2.1.4 API驅動器若為紅色檢查馬達是否鬆脫或斷裂，並檢查接頭是否老化造成接觸不良。 2.1.4檢查馬達線路是否鬆脫或是損壞、斷裂而造成動作異常。 2.1.5檢查馬達軸心是否斷裂或是變形。 2.1.6右圖所示之A~H為上下互相對應之攝影機步進馬達即API驅動器編號。 2.2 CCD之上下動作線性滑軌，移動路徑不順暢 2.2.1檢查該軸線性滑軌上是否有異物。 2.2.2檢查該軸線性滑軌是否已氧化生鏽(若已氧化，需添加油膏以利潤滑)。 2.3感應器檢知逾時 2.3.1檢查近接感應器305.6與305.7是否於正確位置。 2.3.2檢查近接感應器305.6與305.7是否正常供電。 左CCD本體升降氣缸下限305.6 左CCD本體 升降氣缸下限305.6 右CCD本體 升降氣缸下限305.7 2.4紅色環燈光源 亮度調整鈕2.4.1檢查環型LED 燈是否故障。 亮度調整鈕 2.4.2檢查下方電源之Molex接頭是否脫落。 2.4.3檢查DC12V 電源供應器是否正常供電。 2.4.4檢查CR1繼電器 301.6是否觸發。 2.5 CCD影像消失出現 GRAB WAITING 字樣 電源指示燈2.5.1檢查DC 12V是否確實輸入。 電源指示燈 2.5.2檢查同軸電纜BNC接頭是否鬆脫。 2.5.3檢查CCD強波電路板是否故障(指示燈是否熄滅)。 2.5.4檢查電腦後方BNC排線是否脫落。 2.6 CCD鏡頭清潔 CCD鏡頭吹拭處2.6.1 CCD鏡頭如果不潔，請以乾淨無雜質空氣吹拭。 CCD鏡頭 吹拭處 2.6.