GB/T 31986-2015电子工业用气体　八氟丙烷.pdf

ICS 71.100.20 G 86 GB 中华人民共和 国 国彖标淮 GB/T 31986—2015 电子工业用气体八氟丙烷 Gas for electronic industry—Perfluoropropane 2015-09-1 1 发布 2016-05-01 实施 幅畿勰畫曹1警彎畫发布 GB/T 31986—2015 -—1— 刖 旨 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识別这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本标准起草单位：国家化学丁业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化丁研究院有限公司、 佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化 T研究设计院有限公司、 四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化T研究 设计院有限公司。 本标准主要起草人:林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、 周鹏云。 GB/T 31986—2015 电子工业用气体八氟丙烷 1范围 本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精憎、吸附、催化等T.艺提纯的八氟丙烷产品， 以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗 气体。 分子式:o 相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723工业用化学产品采样安全通则 GB 5099钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB 7144气瓶颜色标志 GB/T 8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB 14193液化气体气瓶充装规定 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB 16804气瓶警示标签 GB/T 26571特种气体储存期规范 GB/T 28726气体分析氮离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例 （2011版） 特种设备安全监察条例 （2009版） 3技术要求 八氟丙烷的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 项目 指标 八氟丙烷（GFQ纯度（体积分数）/10-2 99.999 99.99 （氧 + M） （C）2 + Ar） ^ 量（体积分数）/10-6 1 10 氮（N）含量（体积分数）/10~6 5 20